中古べローズポンプの取扱実績・入荷のご連絡

ベローズポンプは、蛇腹（じゃばら）状の構造体である「ベローズ」を伸縮させることで液体を吸入・排出する容積式のポンプです。機械的な軸封部（メカニカルシールなど）を持たない独特の構造から、高度な気密性とクリーン性が求められる産業分野において欠かせない存在となっています。

■ ベローズポンプの仕組み

ベローズポンプの動作原理は、注射器のピストン動作やアコーディオンの伸縮に非常に似ています。ポンプ内部には伸縮自在なベローズが配置されており、このベローズが伸び縮みすることでポンプ室内の容積が変化します。

ベローズが伸びて（あるいは縮んで）室内の容積が広がると、室内が負圧になり、吸入側の弁が開いて液体が引き込まれます。次にベローズが圧縮されて容積が狭まると、室内が高圧になり、吸入側の弁が閉じて吐出側の弁が開き、液体が外部へ押し出されます。この吸入と吐出の工程には、逆流を防ぐための逆止弁（チェックバルブ）が配置されており、一方向へのスムーズな液送を可能にしています。

ベローズを動かす駆動源としては、圧縮空気を利用する「エアー駆動式」と、モーターと偏心機構を利用する「電動（機械）駆動式」が主流です。特に半導体分野などでは、防爆性に優れ、細かな流量制御がしやすいエアー駆動式が多く採用されています。

■ ベローズポンプの特徴

ベローズポンプには、他のポンプにはない多くの優れた特徴があります。

第一に「完全無漏洩（リークフリー）と超クリーン性」です。回転軸を摩耗させながら密閉する軸封構造が存在しないため、外部への液漏れや、外部からの異物混入のリスクが極めて低くなります。また、駆動部と接液部（液体が触れる部分）がベローズによって完全に隔離されているため、摩耗粉の発生による液汚染を防ぐことができます。

第二に「高度な耐薬品性」です。接液部の材質にフッ素樹脂（PTFEやPFAなど）を採用したモデルが多く、塩酸や硫酸といった強酸、アルカリ溶液、強力な有機溶剤など、金属製ポンプでは腐食してしまうような危険な薬液も安全に輸送できます。

第三に「定量性と自吸能力」です。ベローズの１往復あたりの容積変化が一定であるため、高精度な定量送り（微量注入）に適しています。さらに、空気の混入に強く、ポンプ内部に液体が満たされていない状態からでも自力で液体を引き上げる「自吸能力」を備えています。

一方で、構造上の留意点もあります。往復運動によって送液するため、吐出液に周期的な変動が生じる「脈動」が発生しやすい点です。そのため、一定の流量を保つ必要があるシステムでは、脈動を緩和するためのダンパー（緩衝装置）を組み合わせて使用することが一般的です。また、ベローズ自体が曲げ疲労を起こすため、定期的な部品交換等のメンテナンスが必要となります。

■ ベローズポンプの主な用途

ベローズポンプはその高いクリーン性と耐薬品性を活かし、最先端の製造ラインを中心に幅広く活用されています。

• 半導体・液晶ディスプレイ製造工程
• 超純水の供給や、ウエハ洗浄工程で使用される強酸・強アルカリ薬液の循環・移送に多用されます。また、研磨工程（CMP）における化学機械研磨スラリー（微粒子を含む液）の送液にも、液を傷つけず粒子を沈殿させにくい特性が評価されています。

• 化学・薬品プラント
• 腐蝕性が高い各種化学薬品の小分けや定量注入、ドラム缶からの薬液の抜き取りなどに利用されます。液漏れが許されない毒性物質の移送にも適しています。

• 医薬品・食品製造分野
• 衛生管理が極めて厳しい環境下で、無菌状態を維持したまま成分や添加剤を正確に計量・移送する用途に用いられます。接液部を容易に洗浄・滅菌できるタイプも存在します。

• 分析装置・医療機器
• 血液分析装置や各種化学分析機器において、微量の試薬を正確に送液するための小型ベローズポンプが組み込まれています。