中古チャンバー部品・プロセスキットの在庫・価格

チャンバー部品・プロセスキットは、成膜やエッチング、分析を行う真空チャンバーの本体と、その中に入って膜の材料を出したりプロセスの場を作ったりする部品の分野である。ポンプや計測器が真空を作り測る側だとすれば、この分野の部品は真空の中で実際に「物を作る・処理する」側を受け持つ。
中心になるのは真空チャンバーである。ステンレスやアルミニウムで作られた容器に、ポンプ、真空計、ビューポート、導入機、電流導入端子などを付けるためのポートが並び、装置の骨組みになる。超高真空用のチャンバーは、内面を電解研磨などで滑らかにして放出ガスを減らし、ベーキングできるように作られていることが多い。チャンバーの形やポートの配置は装置ごとに設計されるため、別の目的に使うときはポートの数と向きが合うかが鍵になる。研究室では、既製のチャンバーに必要な機器を付けて自作の装置を組むことも多く、六方や十字の形をした小さなチャンバーや、試料の出し入れのためのロードロック室もこの分野で扱われる。
チャンバーの中に入る部品の代表が、スパッタ用のカソードとKセルである。スパッタ用カソードは、成膜材料のターゲットを保持し、裏側の磁石でプラズマをターゲットの近くに閉じ込めるマグネトロン方式が主流で、ターゲットを冷やすための冷却水の通り道を持つ。Kセル(クヌーセンセル)は、るつぼに入れた材料をヒーターで加熱して蒸発させ、分子線として基板へ送る蒸発源で、分子線エピタキシー(MBE)や有機材料の蒸着で使われる。どちらも、電源や温度の制御器と組み合わせて使う。カソードには、成膜の向きを変えられる物や、複数のターゲットを切り替えて多層膜を作れる物もある。
プロセスキットは、チャンバーの内側に付けて膜や副生成物が本体に付くのを防ぐ防着板やシールド、基板の周りの部品などをまとめた呼び方で、定期的に取り外して洗浄や交換を行う消耗部品である。装置の型式ごとに形が決まっているため、同じ装置を使っている所で補修部品として求められることが多い。
選ぶときは、どの装置に組み込むか、あるいは何をするためのチャンバーを組むかから考える。チャンバーならポートの規格と配置、大きさと重さ、到達させたい圧力に対する材質と内面の仕上げを、カソードならターゲットの寸法と冷却水の条件、使える電源の種類を、Kセルならるつぼの材質と容量、ヒーターの電源と熱電対の種類を確かめる。前に使われていたときの成膜材料が内面に残っていることもあるので、清掃と組み直しの手間も見込んでおくとよい。