中古ガス発生装置・ガス精製装置・ガス供給の在庫・価格（岩谷産業）

ガス発生装置・ガス精製装置・ガス供給は、装置や実験に使うガスを作り、純度を上げ、安全に送り、使い終えたら処理するための機器をまとめた分野。分析装置のキャリアガスや燃料ガス、半導体の製造工程で使う窒素や水素、特殊な材料ガスなど、ガスを使う現場では、この分野の機器が装置の手前と後ろに入る。ガスの入手の手間、純度、安全の三つをどう両立させるかが、機器を組み合わせる考え方の中心になる。
ガスを作るのがガス発生装置である。窒素ガス発生装置は圧縮空気から窒素を分離する装置で、吸着剤に酸素などを吸着させる方式(PSA)や、中空糸の膜で分ける方式がある。水素ガス発生装置は純水を電気分解して水素を作り、ガスクロマトグラフの燃料やキャリアに使われる。空気から取り出した窒素を冷やして液体窒素を作る装置もある。標準ガス発生装置のように、測定器の校正のために濃度の分かったガスを作る機器もこの分野に入る。発生装置はボンベの交換や手配の手間を減らせる一方、原料の空気や水、電源を常に用意しておく必要がある。
精製装置は、供給されたガスに含まれる水分や酸素などの微量の不純物を取り除く。不活性ガスや窒素、水素など、ガスの種類ごとに精製の方式が違い、吸着剤や反応で不純物を捕まえる精製剤を使う方式や、水素では特定の金属の膜を通す方式がある。半導体の工程のように、わずかな不純物が製品の品質に影響する場合に使われる。精製の能力は精製剤の量と処理する流量で決まり、精製剤が尽きると不純物がそのまま通り抜けるため、交換や再生の時期を管理することが欠かせない。
ボンベのガスを安全に使うための機器がシリンダーキャビネットである。ボンベを収める排気付きのキャビネットで、減圧や配管の切り替え、配管内のパージ、ガス漏れの検知、異常時の自動遮断を担う。毒性や可燃性のガスを使う工場では欠かせない設備だ。ボンベを使い切っても供給が途切れないよう、二本を並べて自動で切り替える機種もある。使い終えたガスや排気に含まれる有害な成分は、ガス処理設備(除害装置)で燃焼や吸着、薬液での洗浄などにより無害にしてから外へ出す。
選ぶときは、使うガスの種類、必要な純度、使う量から考える。量が多く純度の条件が合えば発生装置でボンベの手配を減らせ、特殊なガスはボンベとシリンダーキャビネットで供給する。発生装置の後ろに精製装置を付けて、作ったガスの純度をさらに上げる組み合わせもある。ガスの配管は一度組むと変えにくいため、将来の使い方も考えて流量に余裕を持たせておくとよい。中古でガス機器を選ぶ場合は、前にどのガスで使われていたかと、ガスの種類ごとの法令や安全の決まりに合わせて設置できるかが要点になる。