中古 Integrated Dynamics Engineering(IDE) MK3（磁場キャンセリング装置）の在庫 2台

■ 磁場キャンセリング装置の仕組み

磁場キャンセリング装置は、周囲の環境から発生する不要な磁場ノイズをリアルタイムで検知し、それを打ち消す逆向きの磁場を人工的に発生させることで、特定空間の磁気環境を安定させるシステムです。

基本的な動作原理は、音響機器などで用いられるノイズキャンセリング技術と同様に「逆位相による相殺」です。システムは主に、高感度磁気センサー、制御用コントローラー、相殺用コイル（キャンセリングコイル）の3つの要素で構成されています。

まず、対象空間内に配置された磁気センサーが、周囲の磁場強度やその変動（DC直流からAC交流まで）を常時モニタリングします。次に、コントローラーがセンサーからの信号を高速で解析し、検出されたノイズ磁場と反対の向きで同じ強度の磁場を即座に計算します。そして、対象空間を囲むように配置されたキャンセリングコイルへ最適な補正電流を流し、逆向きの磁場を生成します。これにより、外部ノイズとキャンセリング磁場が空間内で打ち消し合い、極めて磁気変動の少ない安定した環境が創出されます。

金属板などを用いて物理的に磁気を遮断するパッシブシールド（受動的遮蔽）が静的な防護策であるのに対し、磁場キャンセリング装置は絶えず変化する磁場に動的（アクティブ）に対処する点に大きな特徴があります。

■ 磁場キャンセリング装置の主な特徴

• 直流から交流まで幅広い磁場変動に対応
• 電車やエレベーターの移動などで生じる低周波の直流（DC）変動から、電源設備などに由来する交流（AC）磁場まで、幅広い周波数帯のノイズを低減できます。特に、物理的なシールド材では防ぐことが難しい極低周波の磁場変動に対しても高い追従性を発揮します。

• 軽量かつ省スペースでの導入が可能
• 高精度なパッシブシールドルームを構築する場合、厚い特殊合金を多層化するため全体の重量が数トンに達し、設置スペースも大きく圧迫されます。一方、アクティブ型の磁場キャンセリング装置はセンサー、コントローラー、配線コイルを中心に構成されるため非常に軽量で、既存の部屋や装置の周囲へ容易に後付け設置できます。

• 環境変化に追従する自動制御
• 周囲の磁気環境は、時間帯や近隣の工事状況、大型設備の稼働状態などによって刻一刻と変化します。本装置はリアルタイムで自動制御を行うため、手動で設定を変更することなく、変化する環境に自動で適応して最適なキャンセリング性能を維持し続けます。

■ 磁場キャンセリング装置の主な用途

• 電子顕微鏡（SEM・TEM）の画像ブレ防止
• 電子顕微鏡は、荷電粒子である電子ビームを照射して試料を観察する装置です。外部から磁場ノイズが侵入すると電子ビームの軌道が曲げられ、観察画像にゆがみやブレが生じます。ナノメートルレベルの微細構造を観察する走査型電子顕微鏡（SEM）や透過型電子顕微鏡（TEM）の性能を最大限に引き出すため、本装置が不可欠なインフラとして使用されます。

• 半導体製造および検査装置の精度向上
• 半導体デバイスの微細化に伴い、電子線描画装置やCD-SEM（測長SEM）など、電子ビームを利用する高精度な製造・検査機器の重要性が高まっています。回路パターンの描画ズレや寸法測定誤差を防止し、製品の歩留まりを向上させる目的で広く導入されています。

• 先端物理研究および医療・バイオ計測
• 量子コンピュータの研究開発、SQUID（超伝導量子干渉素子）を用いた極微小磁場計測、脳磁計（MEG）などの先端分野では、極めて高い磁気的静寂性が求められます。環境磁場によるノイズを極限まで低減し、微細な物理現象を正確に観測・測定するための環境づくりに活用されています。