中古油拡散ポンプの取扱実績・入荷のご連絡

油拡散ポンプは、オイル（作動油）の蒸気噴流を利用して気体を排出する高真空用メカニカルフリーポンプです。その動作原理は、気体の分子どうしが衝突せず直進する分子流領域と呼ばれる低気圧環境下で極めて効率的に作用します。

ポンプ内部の底部にはヒーターが設置されており、ここで作動油を加熱して沸騰させます。発生した油蒸気は、内部の多段ノズルを通って上方へ導かれ、斜め下方向に向かって超音速に近い高速度で噴出します。ポンプ内に存在する気体分子は、この高速の油蒸気噴流に衝突することで下方向への運動量を与えられ、ポンプの下部（排出側）へと強制的に運ばれます。下部に集められた気体は、予備真空用として接続された補助ポンプ（油回転ポンプなど）によって系外へ排気されます。一方、気体を運んだ油蒸気は、水冷ジャケットによって冷却されているポンプ容器の内壁に接触して凝縮し、液体に戻って再び底部のボイラーへと流下します。この加熱、蒸発、噴射、凝縮、循環のサイクルを連続的に繰り返すことで、高い真空状態を作り出し、維持する仕組みになっています。

油拡散ポンプの最大の特徴は、構造がシンプルでありながら、圧倒的な排気速度と高真空到達能力を誇る点にあります。内部に高速回転する羽根車などの機械的可動部が存在しないため、摩擦による摩耗や故障のリスクが非常に低く、適切なメンテナンスを行えば極めて長い寿命と高い信頼性を発揮します。また、排気量あたりのコストが他の高真空ポンプと比較して安価であるため、大型の真空装置において特に高いコストパフォーマンスを示します。到達圧力は通常で10のマイナス3乗からマイナス7乗パスカル程度の高真空域に達し、コールドトラップなどを併用することでさらに低い圧力まで到達可能です。

一方で、いくつか留意すべき特性も存在します。大気圧状態から直接排気を行うことはできず、必ず前段に補助ポンプを接続して一定以上の真空度まであらかじめ減圧しておく必要があります。また、作動油を使用する構造上、油蒸気が真空容器側へ逆流する現象（バックストリーミング）が発生するリスクがあるため、バッフルなどの捕捉装置の設置が推奨されます。さらに、ヒーターによる加熱と水冷による冷却を必要とするため、起動および停止に一定の準備・冷却時間を要する点も特徴の一つです。

用途としては、大容量の真空排気を必要とする産業分野で幅広く利用されています。光学レンズやディスプレイ、半導体部品などの表面処理を行う真空蒸着装置やスパッタリング装置の真空排気系として欠かせない存在です。金属・材料分野では、金属の酸化を防ぎながら処理を行う真空溶解炉、真空熱処理炉、真空ろう付け炉などに採用され、炉内から発生する大量のガスを迅速に排出する役割を果たします。さらに、広大な空間を真空にする宇宙環境シミュレーション装置や大型の粒子加速器施設、各種分析機器の真空源としても長年用いられています。大型産業設備においては、その高い信頼性と経済性から現在も極めて重要な位置を占めています。