中古高真空ポンプの在庫・価格

高真空ポンプは、粗引きポンプで下げた圧力から、さらに高真空の領域まで排気するための真空ポンプの分野である。高真空ポンプは大気圧から単独で動かすことができず、ロータリーポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせて使うのが前提になる。成膜やエッチング、電子顕微鏡、表面分析など、気体分子をできるだけ減らしたい装置のほとんどに組み込まれている。真空装置の排気系は、粗引きポンプ、高真空ポンプ、その間を仕切るバルブと真空計を一組にして組み立てるのが基本で、高真空ポンプはその中で到達できる圧力と、処理中の圧力を保つ力を決める役割を持つ。
この分野の機器は、気体を外へ送り出す輸送式と、気体を内部に捕らえる溜め込み式に分かれる。輸送式の代表がターボ分子ポンプ(TMP)と油拡散ポンプで、溜め込み式の代表がクライオポンプである。ターボ分子ポンプは、高速で回転する動翼と固定した静翼を何段も重ね、気体分子をはじいて背圧側へ送る。油を使わない清浄な排気ができ、起動も速い。油拡散ポンプは、加熱した油の蒸気を噴き出し、その噴流で気体分子を下流へ運ぶ。可動部が無く構造が簡単で、大きな排気速度を得やすい。クライオポンプは、冷凍機で極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する。
クライオポンプは単体では動かず、冷凍機の冷却部であるコールドヘッドと、ヘリウムガスを圧縮して送るクライオコンプレッサーを、ヘリウム配管でつないで運転する。このため本体とコンプレッサーは組で考える必要があり、どちらか一方だけを入れ替えるときは組合せの適合を確かめる。また、捕らえた気体が溜まっていくため、温度を上げて溜まった気体を放出する再生という作業が定期的に要る。
使い分けの目安は、排気する気体の量と種類、求める清浄度である。エッチングやCVDのようにプロセスガスを流し続ける装置では、ガスを溜めずに送り出せるターボ分子ポンプが多く使われる。スパッタなどの成膜装置では、水蒸気の排気に強く油を使わないクライオポンプがよく使われる。油拡散ポンプは、大型の真空炉やコーティング装置、研究用の大きなチャンバーなどで、油の逆流を抑えるバッフルやトラップと組み合わせて使われている。振動を嫌う電子顕微鏡や分析装置では、磁気浮上式のターボ分子ポンプや振動の出ない方式が選ばれることも多い。
中古で選ぶときは、方式ごとに見る所が違う。ターボ分子ポンプは軸受の方式と専用コントローラーの有無、クライオポンプはコールドヘッドとコンプレッサーの組合せとヘリウムの状態、油拡散ポンプは作動油とヒーターの状態が要点になる。どれも前にどのプロセスで使われていたかとオーバーホールの履歴が、状態を大きく左右する。