中古プラズマクリーナー・UVクリーナーの在庫・価格

プラズマクリーナー・UVクリーナーは、液体を使わずに材料の表面の薄い有機物の汚れを分解・除去し、表面を清浄にしたり、ぬれ性を上げたりするドライ洗浄の装置である。ウェット洗浄では落としきれない分子の層ほどの有機物の膜や、洗浄液の残りを嫌う用途に向き、半導体・電子部品の製造から、大学や研究所の表面処理まで広く使われる。ここには、真空の容器で処理するプラズマクリーナー、大気中で処理する大気圧プラズマ装置、紫外線とオゾンで処理するUVクリーナーが入る。
プラズマクリーナーは、真空ポンプで減圧した容器にガスを流し、高周波の電力でプラズマを作って処理する。酸素のプラズマは有機物を酸化して二酸化炭素や水にして飛ばし、アルゴンのプラズマはイオンが表面をたたく物理的な作用で汚れを取る。水素などを混ぜて金属の酸化膜を還元する使い方もある。ワイヤーボンディングの前の電極の洗浄、樹脂やゴムの接着・塗装の前処理、マイクロ流路でのシリコーン樹脂(PDMS)とガラスの接合、レジストの残りの除去などに使われる。電極の形には、平行に向き合った板の間で処理する平行平板型や、筒形の容器の外から放電させる型などがあり、処理できる物の形と均一さが変わる。
大気圧プラズマ装置は、減圧せずに大気中でプラズマを作り、ノズルや電極から処理物に吹き付けたり、処理物を通過させたりする装置である。真空の容器が要らないため、コンベヤーで流れる製品やロボットと組み合わせた連続処理に向き、大きな物の一部分だけを処理することもできる。一方で、処理の均一さや効果の出る範囲は、ノズルの形と処理物までの距離に強く左右される。
UVクリーナー(UVオゾン洗浄装置)は、低圧水銀ランプの紫外線を処理物に当てる装置である。短い波長の紫外線が空気中の酸素からオゾンを作り、別の波長の紫外線がオゾンを分解して活性な酸素を生み、同時に有機物の結合を切ることで、有機物を揮発させて取り除く。構造が簡単で真空もガスも要らず、ガラス基板や電極、シリコンウェーハの表面をぬれやすくする処理や、成膜の前の仕上げの洗浄に使われる。
選び分けは、処理物の大きさと形、処理の速さ、設備の条件で決まる。小さな試料を一度に均一に処理するなら真空のプラズマクリーナーやUVクリーナー、生産ラインで連続して処理するなら大気圧プラズマが向く。強い処理や還元が要るならプラズマ、手軽に有機物を除きたいならUVという分け方もできる。どの方式も、オゾンや排ガスの排気と、処理の効果が時間とともに薄れる点を考えて使う必要がある。