中古プローバー・ウェハーテスターの在庫・価格

プローバー・ウェハーテスターは、ウェハーの段階で、素子の電気特性や、ウェハーそのものの電気的な性質、表面の異物を調べる装置の分野である。チップに切り分ける前に良し悪しを見分けたり、成膜や不純物の導入がねらいどおりかを確かめたりと、半導体の開発と製造の両方で、工程の結果を確かめる役を担う。不良のチップを早い段階で見つけて後工程に送らないことは、無駄な組立を減らすうえでも、工程の問題に早く気付くうえでも大きな意味を持つ。
プローバーは、ウェハー上の電極に細い探針（プローブ）を当て、外部の測定器とつないで電流や電圧、容量などを測るための装置である。研究用の手動プローバーは、顕微鏡で見ながらマニピュレーターで針を一本ずつ合わせ、半導体パラメーターアナライザーなどの測定器と組み合わせて素子の特性を評価する。量産用のウェハープローバーは、プローブカードでチップの電極に一度に針を当て、ウェハーを自動で送りながらテスターと組んで全数を検査する。加熱や冷却ができるステージや、外からの雑音を遮るシールド箱を備え、温度を変えた測定や微小な電流の測定に対応する物もある。
ウェハーそのものの性質を測る装置もこの分野に入る。PN判定機は、ウェハーの導電型がp型かn型かを、熱起電力や整流性を利用して見分ける。キャリア濃度測定機は、容量と電圧の関係を測る方法などで、深さ方向のキャリア濃度の分布を求める。これらは、仕入れたウェハーの受け入れ検査や、イオン注入や拡散のあとの確認に使われる。抵抗率の測定は、抵抗率測定機として別にまとめている。
ゴミ検査機は、ウェハーの表面にレーザー光などを当て、異物や傷による散乱光を検出して、その数と位置、大きさを調べる装置である。成膜や洗浄の前後で表面の清浄さを管理するのに使われる。ウェハーを回しながら光を走らせて全面を調べ、異物の分布を地図のように表示する物が多く、分布の形から、どの装置や工程で異物が付いたかを推定する手掛かりにもなる。
選び分けは、何を測るか（素子の特性か、ウェハーの性質か、表面の異物か）、ウェハーの口径、測定の精度と速さで決まる。研究用途では、手動プローバーに手持ちの測定器を組み合わせることが多く、針の本数、ステージの移動量、顕微鏡の倍率、ステージの温度範囲が要点になる。量産用のプローバーは、テスターやプローブカードと組で使う前提で作られているため、単体でどう使うかを考えておく必要がある。