中古ポンプコントローラーの在庫・価格（アルバック Ulvac）

ポンプコントローラーは、真空ポンプを動かし、運転の状態を見張り、装置とのあいだで信号をやり取りするための電源・制御装置の分野である。ターボ分子ポンプやイオンポンプのように、ポンプ本体だけでは動かず専用の電源が欠かせないポンプでは、コントローラーがそろってはじめてポンプとして使える。中古ではポンプ本体とコントローラーが別々に流通することが多いため、この分野だけで探されることも多い。
もっとも数が多いのはターボ分子ポンプコントローラーである。ターボ分子ポンプは翼を毎分数万回転の高速で回すため、コントローラーは高い周波数の電力を作ってモーターを駆動し、加速や減速、回転数の監視を行う。磁気軸受のポンプでは、回転体を磁力で浮かせる制御もコントローラーが受け持つため、ポンプとコントローラーが一対一で調整されていることもある。ポンプの型式ごとに対応するコントローラーが決まっており、ポンプとつなぐケーブルも専用の物が多い。停電のときにポンプの回転を利用して軸受の制御を続ける機能や、決まった回転数に達したことを装置へ知らせる接点など、ポンプを守り装置と連動させるための機能もコントローラー側に備わっている。
イオンポンプコントローラーは、イオンポンプの電極に高い直流の電圧をかける高圧電源で、流れる電流からおおよその圧力を読み取ることもできる。サブリメーションポンプの制御装置は、チタンのフィラメントに電流を流して昇華させるタイミングと量を制御する。どちらも超高真空の装置で、イオンポンプとチタンサブリメーションポンプを組み合わせて使うことが多い。イオンポンプの電源は数キロボルト級の高い電圧を扱うため、ケーブルやコネクタの傷みが安全に関わる。
ドライポンプのコントローラーは、ポンプ本体の運転、停止、異常の表示や、装置からの遠隔操作を受け持つ制御箱や操作盤である。複数のポンプの状態をまとめて見張り、通信で装置や管理用の計算機へ伝えるネットワークターミナルのような機器も、この分野に入る。
選ぶときは、まず使うポンプの型式に対応するコントローラーかどうかを確かめる。そのうえで、入力電源の電圧と相数、ポンプとつなぐケーブルの有無と長さ、装置から操作するための遠隔の接点や通信の形を、組み込む装置に合わせて絞り込む。古い型式のコントローラーは、修理の部品の手当てが難しくなっていることもあるので、予備として手元に置く目的で探す使い方もある。コントローラーの表示や記録に残る異常の履歴が読めれば、前の使用の状態をつかむ手がかりにもなる。