中古 マイクロ波電源
メーカー名
ニッシン
型式MPS-15D
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
150,000円
【AIによる装置概要】
ニッシン(Nissin Inc.)の2450MHz・1500Wプラズマ用マイクロ波電源MPS-15D。電源部(MPS-15D、インバータ方式)とマグネトロン発振部(MG-10J/MG-10T)を分けたセパレート型で、どちらも完全空冷。発振周波数2455MHz±20MHz、出力200〜1500Wを連続可変(整合負荷)、入射電力をフィードバックした補正制御(要パワーモニタ)または入力電力制御を選べ、入力変動190〜220Vに対し出力±2%以内(1.5kW時)。入力は三相190〜220V 50/60Hz・4.5kVA以下、電源部480W×450D×169H mm・25kg以下、発振部246W×258D×241.9H mm・13kg以下。マイクロ波プラズマCVD(ダイヤモンド・カーボン膜)、プラズマ源、ECRエッチングなどに使う。中古品ではマグネトロンの残寿命、発振部の出力フランジ(BRJ-2/TBR-2A2)、アイソレータ・パワーモニタの付属、インターロック配線を確認する必要がある。
【AIによる参考仕様】
・種別：プラズマ用マイクロ波電源(電源部+マグネトロン発振部 セパレート型)
・発振周波数：2455±20 MHz
・出力電力：200〜1500 連続可変(整合負荷)、連続定格1500W W
・出力制御：入射電力フィードバック制御(要パワーモニタ)/入力電力制御
・出力安定度：入力190〜220Vの変動に対し±2%以内(1.5kW時)
・入力電源：三相 190〜220V 50/60Hz、4.5kVA以下
・冷却：強制空冷(電源部・発振部とも)
・出力フランジ：BRJ-2(MG-10J)または TBR-2A2(MG-10T)
・保護機能：ファン故障、オーバーヒート、インバータ過電流/過電圧、外部インターロック、マグネトロンヒータ断線
・寸法・質量(電源部)：480W×450D×169H mm、25kg以下
・寸法・質量(発振部)：246W×258D×241.9H mm、13kg以下
※値は社内保管のニッシン MPS-15D カタログ。掲載品に発振部・パワーモニタが付属するかは要確認。
ニッシン(Nissin Inc.)の2450MHz・1500Wプラズマ用マイクロ波電源MPS-15D。電源部(MPS-15D、インバータ方式)とマグネトロン発振部(MG-10J/MG-10T)を分けたセパレート型で、どちらも完全空冷。発振周波数2455MHz±20MHz、出力200〜1500Wを連続可変(整合負荷)、入射電力をフィードバックした補正制御(要パワーモニタ)または入力電力制御を選べ、入力変動190〜220Vに対し出力±2%以内(1.5kW時)。入力は三相190〜220V 50/60Hz・4.5kVA以下、電源部480W×450D×169H mm・25kg以下、発振部246W×258D×241.9H mm・13kg以下。マイクロ波プラズマCVD(ダイヤモンド・カーボン膜)、プラズマ源、ECRエッチングなどに使う。中古品ではマグネトロンの残寿命、発振部の出力フランジ(BRJ-2/TBR-2A2)、アイソレータ・パワーモニタの付属、インターロック配線を確認する必要がある。
【AIによる参考仕様】
・種別：プラズマ用マイクロ波電源(電源部+マグネトロン発振部 セパレート型)
・発振周波数：2455±20 MHz
・出力電力：200〜1500 連続可変(整合負荷)、連続定格1500W W
・出力制御：入射電力フィードバック制御(要パワーモニタ)/入力電力制御
・出力安定度：入力190〜220Vの変動に対し±2%以内(1.5kW時)
・入力電源：三相 190〜220V 50/60Hz、4.5kVA以下
・冷却：強制空冷(電源部・発振部とも)
・出力フランジ：BRJ-2(MG-10J)または TBR-2A2(MG-10T)
・保護機能：ファン故障、オーバーヒート、インバータ過電流/過電圧、外部インターロック、マグネトロンヒータ断線
・寸法・質量(電源部)：480W×450D×169H mm、25kg以下
・寸法・質量(発振部)：246W×258D×241.9H mm、13kg以下
※値は社内保管のニッシン MPS-15D カタログ。掲載品に発振部・パワーモニタが付属するかは要確認。