中古機 イオン電源 その他製、型式IBS700のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空チャンバー内でのイオンビームエッチング、イオンビームミリング、またはイオンビームスパッタリングといった各種表面処理・薄膜形成プロセスにおいて、イオン源を安定して駆動・制御するために設計された専用の多系統電源ユニットです。イオン源のプラズマ生成からビーム引き出し、中和（ニュートラライズ）に至るまで、プロセスに必要な複数の独立した電力供給を一台で統合管理できる点が特徴です。

内部には、イオンを加速してビームを引き出すための主電源（ビーム電圧・電流制御）をはじめ、プラズマを維持するためのディスチャージ電源、熱電子を放出するカソード（フィラメント）用電源、さらにビームの広がりを抑えるための加速（アクセル）電源など、独立した制御回路が組み込まれています。これにより、プロセス条件に応じた緻密なエネルギー制御と電流密度の最適化が可能となります。

各種パラメーターはフロントパネルから個別に設定・監視できるほか、真空プロセス特有の異常放電（アーキング）を検知して瞬時に出力を遮断・自動復帰させるアークハンドリング保護機能も搭載されており、長時間の連続プロセスにおいても安定したイオンビームの照射を維持します。研究開発用途から各種デバイスの生産ラインまで、幅広い真空プロセス装置への組み込みやリプレイスメントに適した汎用性の高い設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・出力系統：ビーム（アノード）、アクセル（加速）、ディスチャージ、カソード、ニュートラライザー（各独立制御）
・ビーム電圧出力：0 ～ 1200 VDC（可変設定）
・ビーム電流出力：0 ～ 700 mA
・アクセル電圧出力：0 ～ -500 VDC（可変設定）
・アクセル電流出力：0 ～ 50 mA
・ディスチャージ電圧：0 ～ 100 VDC
・ディスチャージ電流：0 ～ 5.0 A
・カソード（フィラメント）電流：0 ～ 15.0 A
・ニュートラライザーエミッション電流：0 ～ 700 mA
・アークハンドリング機能：異常放電検知時の高速遮断（ミリ秒単位）および自動復帰（リカバリー）機能搭載
・インターフェース：フロントパネルによる各パラメーターの独立設定、各種出力のデジタル/アナログメーター表示、外部I/O制御対応
・冷却方式：強制空冷
・入力電源仕様：AC 200V / 220V 単相または三相（50/60Hz）

※上記は同シリーズの代表的な参考仕様を含みます。接続するイオン源の仕様や搭載オプションにより、各チャンネルの最大出力制限や適合条件が異なる場合がありますので、実際の稼働環境に応じた確認を推奨します。