中古機 スパークル（アークキラー） アドバンスドエナジー　AE製、型式Sparc-le　Vのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、DCスパッタリングをはじめとする真空プラズマプロセスにおいて、異常放電（アーク）を高速に検知・抑制するための外付けアークキラー（アーク抑制）ユニットです。DC電源の出力段に直列に接続して使用し、ターゲット表面で発生する微小なマイクロアークから大規模なハードアークまでを効果的に管理・制御します。

プロセス中にアーク放電が発生した際、出力電圧の急激な降下を数マイクロ秒の単位で検知します。検知後、瞬時に出力を遮断するとともに逆電圧を印加してアークを強制的に消弧します。この高速な応答処理により、ターゲット材料の損傷や基板へのパーティクル（異物）の飛散を最小限に抑え、成膜プロセスの安定性と品質を維持します。

電気的仕様として、最大電力30kW、最大電圧1000V、最大電流30Aの高出力プロセスに対応可能な設計となっています。冷却機構には水冷方式を採用しており、高負荷での長時間連続稼働時においても安定した熱管理を実現します。主に半導体製造、フラットパネルディスプレイ、光学コーティングなどの真空成膜装置における放電制御コンポーネントとして組み込まれます。

【AIによる参考仕様】
・最大許容電力: 30 kW
・最大動作電圧: 1000 VDC
・最大動作電流: 30 A
・アーク検知方式: 出力電圧降下監視方式
・アーク検知遅延時間設定（Arc Delay）: 約 2 µs ～ 100 µs
・アーク遮断・逆電圧印加時間設定（Off Time）: 約 10 µs ～ 1000 µs
・冷却方式: 水冷式
・冷却水流量要件: 3.8 L/min（1.0 GPM）以上
・冷却水温度要件: 10 ℃ ～ 35 ℃
・入出力インターフェース: アナログ/デジタル制御I/O
・実装形態: 19インチラックマウント対応