中古機 ゲージコントローラー 大亜真空　DIAVAC製、型式PC-1DAのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置はピラニ真空計用のゲージコントローラーであり、主に低真空から中真空領域の圧力測定に使用されます。熱伝導を利用した専用のピラニ測定子と接続することで、チャンバー内や排気配管ラインの圧力を約0.4 Paから3000 Pa（大気圧付近）の範囲で連続的に計測することが可能です。

フロントパネルには直感的な圧力変化の把握に適したアナログメーター表示を採用しており、真空ポンプによる粗引きプロセスの監視や、システム立ち上げ時の圧力挙動を視覚的に確認する用途に優れています。デジタル表示と比較して、針の動きから排気速度の変動や微細な圧力変化の傾向を読み取りやすい点が特徴です。

1チャンネル仕様のシンプルな設計でありながら、堅牢な内部回路により長期間にわたって安定した計測精度を維持します。また、外部機器向けのレコーダー用アナログ電圧出力や、任意の圧力値で動作するセットポイント（リレー接点）出力を備えています。これにより、上位のシーケンサー（PLC）やプロセス制御システムと連携した自動排気制御、および各種バルブのインターロック構築への組み込みも容易です。真空炉、真空コーティング装置（蒸着・スパッタリング）、半導体製造プロセスのロードロック室、各種研究開発設備など、信頼性が求められる真空システムの圧力監視において、汎用的かつ安定した運用が期待できます。

【AIによる参考仕様】
・測定方式: 熱伝導式（ピラニ真空計コントローラー）
・測定チャンネル数: 1 チャンネル
・測定圧力範囲: 0.4 Pa ～ 3000 Pa
・適合測定子: 同社製 PTシリーズ（PT-1DA等）
・表示方式: アナログメーター表示
・外部アナログ出力: レコーダー出力対応（システム記録・監視用）
・接点出力（セットポイント）: 圧力設定用リレー接点出力（インターロック用）
・入力電源: AC100V 50/60Hz
・動作温度範囲: 10℃ ～ 40℃（結露なきこと）

※上記は同シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考仕様です。中古機器のため、オプションの有無や設定範囲など実際の動作仕様は現品の個体状態に依存する場合があります。