中古機 ターボ分子ポンプコントローラー 三菱重工業製、型式PTI-1500M-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、排気速度1500 L/secクラスの磁気軸受型ターボ分子ポンプを駆動・制御するための専用コントローラーです。内部には、ポンプのローターを非接触で空間に浮上・保持させるための5軸制御磁気軸受コントロール回路と、モーターを高速回転させるための高周波インバータ回路が統合されています。

磁気軸受方式のポンプ本体と組み合わせることで機械的摩擦のないクリーンな高真空排気システムを構築でき、潤滑油が不要なためメンテナンスサイクルが長い点が特徴です。本コントローラーは、ローターの回転数制御だけでなく、各軸の磁気軸受のギャップセンサー信号を常時監視し、最適な浮上位置を維持する高度なフィードバック制御を行っています。

また、停電などの電源喪失時には、モーターの回転エネルギーを電力に変換（回生）して磁気軸受の浮上を維持しながら安全にローターを減速・着地させるバックアップ機能を搭載しています。さらに、異常振動や温度異常、過電流などを検知して自動停止する各種保護回路を備え、装置本体の破損を未然に防ぐ高い安全性を有しています。

フロントパネルには動作ステータス（加速、定常回転、減速、エラー等）を確認できるインジケーターが配置されています。背面には外部システムとの連動を可能にするリモートI/O端子や通信インターフェースを備えており、半導体製造装置、FPD製造装置、真空蒸着装置などの大型真空システムの自動制御への組み込みに適合します。

【AIによる参考仕様】
・適用ポンプ本体: 磁気軸受型ターボ分子ポンプ（1500 L/secクラス・PT-1500M等）
・入力電源: 単相 AC200V～240V ±10%
・入力周波数: 50 / 60 Hz
・最大消費電力: 約 1.5 kVA（加速時最大）、約 0.5 kVA（定常回転時）
・制御・駆動方式: 5軸アクティブ磁気軸受制御、PWMインバータ駆動
・冷却方式: 強制空冷（内蔵冷却ファン）
・外部インターフェース: リモートI/O端子（起動/停止入力、ステータス出力、アラーム出力等）、シリアル通信ポート
・主な保護機能: 停電時回生バックアップ制御、過電流・過電圧保護、異常振動検知、モーターおよびコントローラー内温度異常検知
・使用環境温度: 5℃ ～ 40℃（結露なきこと）
・筐体形状: 19インチラックマウント対応サイズ
・質量: 約 25 kg ～ 30 kg

※上記は同シリーズにおける標準的な参考仕様です。マイナーチェンジやオプション構成（-10仕様）により、コネクタ形状や一部インターフェースのピンアサインが異なる場合があります。実機導入の際は、運用するポンプ本体とのペアリング調整やパラメーター設定をご確認ください。