中古機 ターボ分子ポンプコントローラー 三菱重工業製、型式PTI-1500M-10のご紹介

【AIによる装置概要】
ターボ分子ポンプを回すための電源装置(パワーサプライ)で、ポンプのモータに駆動電力を送り、起動から定格回転までの加速、運転中の回転の監視、停止までを制御する。ターボ分子ポンプは毎分数万回転で回るため、専用のコントローラと組み合わせて使うのが前提になる。
対応するポンプはPT-1500系で、排気速度1500L/s級、セミ磁気軸受形のポンプにあたる。セミ磁気軸受形はローターの一方を磁気軸受、もう一方を機械式の軸受で支える方式で、大口径のポンプを大型の真空装置で使う場合に組み合わされる。
入力電源・消費電力・寸法・質量は銘板の写真では読めず、公式資料も見つかっていない。この系統のターボ分子ポンプの事業は、現在エドワーズが引き継いでいる。組み合わせるポンプとケーブルの型式は、現品と手持ちの装置で確かめる必要がある。
【AIによる参考仕様】
・種別：ターボ分子ポンプ用パワーサプライ(コントローラ)
・対応ポンプ：三菱重工 PT-1500系(排気速度1500L/s級、セミ磁気軸受形)
・メーカー：三菱重工業(銘板)
※値は現品銘板から。入力電源・消費電力・寸法・質量は銘板の写真では読めず、公式資料も見つからない(三菱重工のTMP事業は現在エドワーズが継承)。