中古機 蒸着膜厚コントローラー アルバック　Ulvac製、型式CRTMのご紹介

【AIによる装置概要】
水晶振動子の質量負荷効果を利用して、真空プロセス（蒸着、スパッタリングなど）で形成される薄膜の膜厚および成膜レートをリアルタイムで高精度に計測・制御するための成膜コントローラーです。センサーとなる水晶振動子に成膜材料が付着すると、その質量増加に比例して共振周波数が低下する物理現象を応用しています。これにより、オングストローム（Å）単位の微小な膜厚変化を捉え、0.01 Å/sといった高い分解能で成膜レートをモニタリングすることが可能です。

多層膜の自動成膜制御や、複数のセンサー入力を切り替える機能を備えており、光学薄膜や電子部品などの複雑な製造プロセスにおいて、正確な膜厚管理とプロセスの自動化を実現します。RS-232CやRS-485といった通信インターフェース、リレー接点によるI/O制御、各種アナログ出力を備えており、真空成膜装置のメインシステムや外部PLCとの連携によるシステム統合を容易に行うことができます。

【AIによる参考仕様】
※同シリーズの代表的な仕様です。具体的な世代（6000系や9000系など）やオプション構成によって数値が異なる場合がありますので、実機の銘板や仕様書も併せてご確認ください。

・測定方式：水晶振動子法
・適用水晶振動子周波数：5 MHz または 6 MHz
・膜厚表示範囲：0.000 ～ 999.9 kÅ
・成膜レート表示分解能：0.01 Å/s
・測定周期（サンプリングレート）：約125 ms（8回/秒）
・マテリアル設定数：最大 99 種類
・プログラム機能：複数層の自動成膜プロセスコントロールに対応（多層膜制御）
・入力センサー数：標準1～2チャンネル（外部センサーセレクタ接続による多点拡張が可能）
・外部インターフェース：
　通信ポート：RS-232C、RS-485
　アナログ出力：レート出力、膜厚出力、パワーコントロール出力（DC 0～10V）
　外部I/O：リレー接点入出力（シャッター開閉、成膜開始/停止、異常警報などのプロセス制御用）
・電源電圧：AC 100V ～ 240V（50/60 Hz）