中古機 分圧計 アルバック　Ulvac製、型式model MA-01のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空チャンバー内の残留ガス分析、リークテスト、およびガス組成のモニタリングなどに用いられる四重極型質量分析計（分圧計）の制御・電源ユニットです。真空プロセスにおいて、微量ガス成分をイオン化し、質量電荷比（m/z）に応じて分離・検出するための高周波（RF）制御および信号処理を担います。

本品はセンサーユニット（コントロールユニット）部分のみであり、実際に真空配管へ取り付けてイオンの分離・検出を行う四重極センサー部（測定子）は付属していません。そのため、分圧測定を実施するには別途対応するセンサーの用意が必要となります。

真空装置のプロセス管理において、本ユニットは10^-2 Paから超高真空領域までの幅広い圧力帯での測定をサポートします。通信インターフェースを介してPCと接続することで、専用ソフトウェアによるリアルタイムの分圧モニタリング、時間経過に伴う分圧変動（トレンド測定）、およびマススペクトル分析が可能となります。半導体製造装置、スパッタリング装置、有機EL製造装置などの真空状態の定量評価や、プロセス中の不純物ガス管理において機能する制御コンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
・測定原理：四重極型質量分析法 (Q-mass)
・測定質量範囲 (m/z)：1 ～ 100 amu （対応するセンサー構成により最大 200 amu または 300 amu）
・測定可能圧力範囲：10^-2 Pa ～ 10^-12 Pa （※接続するセンサーおよび検出器の仕様に依存）
・最小検知分圧（参考値）：
　- ファラデーカップ検出器使用時：約 10^-9 Pa
　- 二次電子倍増管（SEM）使用時：約 10^-12 Pa
・主な測定モード：アナログスペクトル測定、バーグラフ測定、トレンド（時間変化）測定
・通信インターフェース：RS-232C / RS-485 / Ethernet
・電源仕様：AC100V ～ 240V（50/60Hz）
・特記事項：センサーユニット本体のみ（四重極センサー部は非付属）