中古機 マグネトロンスパッタ 真空デバイス製、型式MSP-1Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、主に走査型電子顕微鏡（SEM）の試料観察時におけるチャージアップ防止を目的とした、導電性薄膜コーティング用の小型マグネトロンスパッタリング装置です。

排気系には油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）を使用し、到達圧力は約2Paとなります。マグネトロン電極を採用しているため、成膜中のプラズマによる試料への熱ダメージを低減しつつ、微細な粒子による均一な金属膜（Au、Pt、Pt-Pdなど）を短時間で形成することが可能です。

チャンバー部には外径100mm、高さ100mmの透明な硬質ガラス製ベルジャーを採用しており、成膜中の放電状態や試料の様子を外部から目視で直接確認できます。また、フロントパネルにはアナログ式のピラニ真空計と放電電流計が配置されており、チャンバー内の真空度やスパッタ電流の状況を直感的に把握できるよう設計されています。

本体寸法は幅210mm、奥行き280mmと非常にコンパクトにまとめられており、実験室の限られた卓上スペースにも容易に設置が可能です。日常的なSEM試料の前処理において、シンプルかつ安定した操作性を提供する実用的な装置となっています。

【AIによる参考仕様】
スパッタ方式：マグネトロンDCスパッタ方式
ターゲット寸法：φ50mm
チャンバー：硬質ガラス製（外径φ100mm × 高さ100mm）
試料台寸法：φ60mm
適合真空ポンプ：油回転真空ポンプ（排気速度 50L/minクラス）
到達圧力：2Pa以下（接続するポンプの性能・状態に依存）
真空計：アナログ式ピラニ真空計
スパッタ電流計：0〜20mA（アナログ表示）
タイマー：内蔵（成膜時間設定用）
入力電源：単相 AC100V
本体外形寸法：約 幅210 × 奥行280 × 高さ220 mm
本体重量：約 8 kg（真空ポンプ含まず）