中古機 金属顕微鏡 オリンパス　Olympus製、型式MX40／AL-1BL-Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体ウェハや電子部品、金属材料の表面検査などに用いられる工業用正立型顕微鏡部と、自動ウェハ搬送を行うオートローダー部を統合した検査システムです。

顕微鏡部には無限遠補正のUIS光学系が採用されており、高解像度かつコントラストに優れた鮮明な画像を取得できます。最大150mm（6インチ）サイズの試料に対応する150mm×150mmストロークのメカニカルステージを備え、明視野、暗視野、微分干渉（DIC）、簡易偏光といった多様な観察手法を利用可能です。手元に配置された操作系や人間工学に基づいた鏡筒設計により、長時間の目視検査における作業者の負担を軽減する構造が取り入れられています。

オートローダー部は、カセットから顕微鏡ステージへの正確な自動ウェハ搬送を担います。主に100mm（4インチ）から150mm（6インチ）のウェハサイズに対応し、真空吸着方式による安全な搬送を実現しています。手動によるウェハのハンドリングを無くすことで発塵やコンタミネーションのリスクを低減し、顕微鏡によるミクロ検査および搬送過程でのマクロ検査（目視）を効率化します。これにより、半導体製造プロセス等における品質管理のスループット向上に寄与する構成となっています。

【AIによる参考仕様】
〔顕微鏡部〕
光学系：UIS（無限遠補正）光学系
最大対応試料サイズ：150mm（6インチ）
ステージストローク：X軸 150mm × Y軸 150mm
観察手法：明視野、暗視野、微分干渉（DIC）、簡易偏光
照明方式：反射（落射）照明
光源：12V 50W または 12V 100W ハロゲンランプ
対物レンズマウント：明暗視野対応レボルバー
フォーカス機構：粗微動共軸ハンドル

〔ウェハローダー部〕
対応ウェハサイズ：100mm（4インチ）、125mm（5インチ）、150mm（6インチ）
対応キャリア：標準オープンカセット
カセット搭載数：1カセット
搬送方式：真空吸着式アーム搬送
アライメント機能：オリエンテーションフラット / Vノッチ自動位置合わせ
検査機能：ミクロ検査ステージへの自動搬送、表面・裏面マクロ検査対応