中古機 バラトロン MKS製、型式Type627のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種真空装置における高精度な圧力測定に広く使用される、温度制御型の絶対圧キャパシタンスマノメーター（バラトロン真空計）です。センサー内部を常に45℃へ加熱し定温維持することで、周囲温度の変動に伴うゼロ点ドリフトを最小限に抑え、長期間にわたり安定した測定を実現しています。

静電容量の変化を利用して圧力を測定する仕組みのため、ガスの種類や組成に依存せず、絶対圧力を直接かつ正確に読み取ることができる点が最大の特徴です。接ガス部には耐腐食性に優れたインコネル（Inconel）合金を採用しており、腐食性ガスを扱うエッチングやCVDプロセス環境下でも高い信頼性を発揮します。

測定精度はフルスケールレンジに応じて読み値の0.12%〜0.25%と非常に高く、圧力値は標準的な0～10 VDCのアナログ電圧信号として出力されます。真空排気システムの監視から、スパッタリングなどの精密な真空プロセス制御、研究開発用途まで、幅広い真空アプリケーションに適応する設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・測定方式：絶対圧キャパシタンスマノメーター
・センサー設定温度：45℃（定温制御）
・代表的なフルスケールレンジ：0.02 / 0.05 / 0.1 / 0.25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 1000 / 2000 / 3000 / 5000 / 10000 / 25000 Torr（※個体により異なります）
・測定精度（読み値の％）：
　0.12%（フルスケールレンジ 1～25000 Torr）
　0.15%（フルスケールレンジ 0.1, 0.25 Torr）
　0.25%（フルスケールレンジ 0.02, 0.05 Torr）
・出力信号：0 ～ +10 VDC アナログ出力
・入力電源：±15 VDC (±5%)、定常時 約250mA / ウォームアップ時 最大約0.6A
・接ガス部材質：インコネル (Inconel®)
・許容過圧：45 psia (約310 kPa) またはフルスケールの120%のいずれか大きい方
・応答時間：20 ms以下（フルスケールレンジ 1～25000 Torrの場合）
・標準的な接続継手：1/2インチ外径チューブ、NW16 KF、8 VCR、Mini-CF（1.33インチ外径）など（※個体により異なります）

※上記は同シリーズの代表的な仕様です。製造時期やマイナーチェンジ、特注仕様などにより個体の詳細スペックが異なる場合があります。