中古機 真空排気ユニット アルバック/アルカテル製、型式PMB-001CM／2021のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせた真空排気ユニットです。主排気ポンプとして排気速度100 m3/h（50Hz）／120 m3/h（60Hz）のルーツ型真空ポンプを搭載し、補助ポンプ（バックポンプ）として排気速度21 m3/h（50Hz）／25 m3/h（60Hz）クラスの2段式油回転真空ポンプが直列に接続されています。

メカニカルブースターポンプは、大気圧付近ではなく中真空領域で稼働させるポンプです。低圧領域において排気速度が低下する油回転真空ポンプの特性を補完し、100 Pa～0.1 Paの中真空領域における排気効率を大幅に向上させます。これにより、大容量の真空チャンバーでも短時間での真空引きが可能となります。

ユニット全体の到達圧力は10^-2 Pa台を実現しており、単体の油回転真空ポンプと比較して、より高い真空度と大排気量を両立しています。各ポンプと配管類は架台上にコンパクトにまとめられており、設置や配管接続が容易な構造です。

真空熱処理、真空乾燥、コーティングプロセス、リークテストなど、中真空領域での安定した大排気能力が求められる様々な産業用途や研究開発プロセスで利用されるシステム構成です。

【AIによる参考仕様】
■ ユニット全体仕様
・システム構成：メカニカルブースターポンプ ＋ 2段式油回転真空ポンプ
・ユニット到達圧力（目安）：1.0 × 10^-2 Pa 台

■ 主排気ポンプ（メカニカルブースターポンプ）仕様
・設計排気速度：100 m3/h（50Hz） / 120 m3/h（60Hz）
・モーター出力：0.4 kW
・吸気口径 / 排気口径：VG50 / VG50

■ 補助排気ポンプ（油回転真空ポンプ）仕様
・設計排気速度：21 m3/h（50Hz） / 25 m3/h（60Hz）
・ポンプ単体到達圧力：約 1.0 × 10^-2 Pa（ガスバラスト閉時）
・モーター出力：0.55 kW （仕様により0.45〜0.75 kW）
・吸気口径 / 排気口径：NW25 / NW25

※ 上記仕様はベースとなる各ポンプ単体のカタログデータに基づく参考値です。架台上の配管抵抗やユニット構成、オプションの有無により実際の数値は異なる場合があります。