中古真空排気ユニット（真空排気装置）の在庫・価格

真空排気ユニットは、大気圧から運転できる粗引きポンプと、動作できる圧力に上限がある主ポンプを、架台・配管・制御機器とともに一体化した排気装置である。ポンプを個別に手配して配管を組む手間を省き、組み合わせの適合性が確認された状態で導入できる点が特徴で、キャスタ付きで移動できる研究用の小型機から、生産設備に据え付ける大型機まである。
代表的な構成は二系統ある。一つはメカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプの組み合わせで、低・中真空域の大排気量を担う。ブースタは一対のまゆ形ロータが非接触で同期回転して気体を送る容積式ポンプで、ポンプ室に潤滑油がないため水蒸気や溶剤蒸気を含む排気でも性能が安定しやすい。単独では大気圧まで圧縮できないため、背後の油回転ポンプが出口側を低圧に保つ。典型的な仕様は、最大排気速度がおおむね1,500〜20,000 L/min、到達圧力が10^-1 Pa台、ブースタを運転できる最大吸入圧力が10^2〜10^3 Pa台(小型機では10^4 Pa近く)である。電源周波数で回転数が変わり、60Hzでは50Hzより排気速度が2割前後大きい。ブースタをインバータ駆動にして大気圧から粗引きポンプと同時に起動できる仕様もあり、排気時間の短縮に効く。
もう一つはターボ分子ポンプと油回転ポンプまたはドライポンプの組み合わせで、高真空用途に使う。ターボ分子ポンプが主ポンプとなり、後段のポンプが粗引きと背圧維持(補助ポンプ)を兼ねる。最大圧縮比はターボ分子ポンプで10^8程度、ロータリーポンプで10^6程度とされ、直列にすれば理論上は10^-9 Pa程度まで届く計算になる。ただし実際には10^-3 Pa付近から壁面に吸着した水の脱離が支配的になって圧力が下がりにくくなるため、150〜200℃程度のベーキングを併用することが多い。
ユニットには、ポンプ間を結ぶベローズ配管、運転・停止用の制御盤とモータ保護、油回転ポンプの排気から油煙を除くオイルミストトラップ、冷却水量を監視するフロースイッチなどが組み込まれるか、オプションとして用意される。実務上重要なのは停止時の油逆流対策である。真空状態のまま油回転ポンプを止めると油が吸気側に引き込まれ、チャンバやターボ分子ポンプまで汚染する。このため停止時や停電時に吸気側を遮断し、ポンプ側を大気開放する電磁弁を備えるのが一般的である。
用途は、真空熱処理、真空乾燥、脱気、真空含浸など金属・自動車・化学・医薬・食品分野の生産設備から、成膜装置のロードロック、表面分析装置や電子顕微鏡、試作用チャンバの排気まで幅広い。選定では、必要な到達圧力と、チャンバ容積Vと実効排気速度Sで決まる排気時定数V/Sから機種を絞り、配管によるコンダクタンス損失も見込む。分子流領域では円管のコンダクタンスは半径の3乗に比例し長さに反比例するため、太く短い配管で接続するほど公称性能に近づく。ターボ分子ポンプは水素やヘリウムなど軽いガスの排気速度が小さい点にも注意が要る。このほか冷却方式(空冷か水冷か)、電源電圧、設置場所の清浄度、振動の許容範囲も事前に確認しておきたい。