中古 アイソレートバルブ
メーカー名
バリアン Varian
型式V-025VS-200
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
油回転ポンプの吸気口に取り付け、停電や誤操作でポンプが止まったときにポンプ油が真空装置側へ逆流するのを防ぐ自動弁です。ポンプ停止時にまず排気系側を遮断して真空を保持し、続いてポンプ側を大気に開放する、カットバルブとベントバルブの機能を1台に持っています。弁の駆動には油回転ポンプ自身が作る真空を使うため圧縮空気と配管が要らず、付属の電磁弁への通電をポンプのモーターと同期させるだけで動作し、専用の制御回路は不要です。
接続はNW25フランジで、使用圧力範囲は大気圧から10^-2 Pa程度、コンダクタンスは分子流域の空気で420 L/min、リーク量は5×10^-7 Pa・m3/s未満とされています。型式末尾の200は電磁弁の電源がAC200 Vであることを示す旧型式表記です。アネルバの蒸着装置などで、クライオポンプの粗引き系にも組み込まれていました。
【AIによる参考仕様】
・接続フランジ：NW25
・使用圧力範囲：大気圧〜10^-2程度 Pa
・リーク量：5×10^-7未満 Pa・m3/s
・コンダクタンス(分子流域・20℃空気)：420 L/min
・電磁弁電源：AC200±10%(50/60 Hz)
・消費電力：3 W
・使用周囲温度：10〜40 ℃
・メンテナンス周期：30,000サイクルまたは1年
・質量：1 kg
※型式末尾の -200 は電磁弁の電源が AC200V の品を示す。V-025SV-100/200 は販売終了品で、掲載の仕様は現行の V-025SV(-1AC/-2AC)の公式値のため、旧型式と細部が異なる可能性がある
油回転ポンプの吸気口に取り付け、停電や誤操作でポンプが止まったときにポンプ油が真空装置側へ逆流するのを防ぐ自動弁です。ポンプ停止時にまず排気系側を遮断して真空を保持し、続いてポンプ側を大気に開放する、カットバルブとベントバルブの機能を1台に持っています。弁の駆動には油回転ポンプ自身が作る真空を使うため圧縮空気と配管が要らず、付属の電磁弁への通電をポンプのモーターと同期させるだけで動作し、専用の制御回路は不要です。
接続はNW25フランジで、使用圧力範囲は大気圧から10^-2 Pa程度、コンダクタンスは分子流域の空気で420 L/min、リーク量は5×10^-7 Pa・m3/s未満とされています。型式末尾の200は電磁弁の電源がAC200 Vであることを示す旧型式表記です。アネルバの蒸着装置などで、クライオポンプの粗引き系にも組み込まれていました。
【AIによる参考仕様】
・接続フランジ：NW25
・使用圧力範囲：大気圧〜10^-2程度 Pa
・リーク量：5×10^-7未満 Pa・m3/s
・コンダクタンス(分子流域・20℃空気)：420 L/min
・電磁弁電源：AC200±10%(50/60 Hz)
・消費電力：3 W
・使用周囲温度：10〜40 ℃
・メンテナンス周期：30,000サイクルまたは1年
・質量：1 kg
※型式末尾の -200 は電磁弁の電源が AC200V の品を示す。V-025SV-100/200 は販売終了品で、掲載の仕様は現行の V-025SV(-1AC/-2AC)の公式値のため、旧型式と細部が異なる可能性がある