中古クライオナビの在庫・価格

クライオナビは、クライオポンプ用の専用制御電源（コントローラ）を指す名称です。カテゴリは真空ポンプですが、気体を排気するポンプ本体ではありません。ポンプ本体に組み込まれたヘリウム冷凍機（コールドヘッド）を駆動・制御し、冷却運転と再生運転を管理する周辺機器にあたります。クライオポンプ本体、ヘリウムコンプレッサ、フレキシブルホースと組み合わせて一つの排気システムになります。
前提となるクライオポンプは溜込式の真空ポンプです。極低温面に気体を凝縮・吸着させて捕らえるため、油を使わないクリーンな高真空〜超高真空が得られます。冷凍機は2段式で、1段目は80K以下まで冷え、シールドとバッフルで主に水蒸気を凝縮します。2段目は10〜20K程度まで冷え、窒素・酸素・アルゴンなどを凝縮させます。2段目より低い温度でないと凝縮しない水素・ヘリウム・ネオンは、2段目パネルの内側に付けた活性炭などの吸着剤で捕らえます。到達圧力は典型的には10^-7Pa台、パネルの到達温度は15K以下が目安です。
溜込式なので、ため込んだガスが一定量を超えると排気性能が落ちます。そのため、パネルを常温まで昇温してガスを放出させる「再生」を定期的に行う必要があります。再生中は排気できないため、再生をいかに速く済ませるかが装置の稼働率を左右します。この制御電源と組み合わせる系列のポンプは、自己発熱機能を使ってヒータを使わずに再生します。通常の冷凍サイクルでは、コールドヘッド内のディスプレーサ（ピストン）が作る空間で高圧ヘリウムを断熱膨張させて冷却します。自己発熱機能では、ディスプレーサの動きとヘリウムを入れるタイミングを切り替え、同じ空間で断熱圧縮を起こしてステージを加熱します。ヒータが無いので、火花・放電・漏電の心配が少ないとされます。8〜12インチ口径のポンプでは、自己発熱機能を使った場合の昇温時間が30〜50分程度、冷却起動時間が45〜100分程度と示されています。専用制御電源を使わない場合や、水素蒸気圧温度計を載せたタイプでは自己発熱機能が使えず、再生時間は通常のクライオポンプと同程度に長くなります。
半導体や電子部品の製造で使うマルチチャンバー装置では、1台のコンプレッサで複数台（典型的には最大3台程度）のポンプを動かすマルチ運転が一般的です。この方式では、1台だけ再生すると起動に時間がかかったり、熱負荷の偏りでポンプ間に温度差が出たりしやすくなります。このため、再生や起動の順序を含めた運転管理が重要になります。
用途は、スパッタリング（アルゴンを大量に排気）、蒸着、イオン注入（水素）などの成膜・プロセス装置や、水分を嫌う研究用真空装置での高真空排気です。油拡散ポンプからドライな排気系へ切り替える用途にも使われます。
実務上の注意点は次のとおりです。まず、専用制御電源は対応するポンプ系列との組み合わせが前提なので、ポンプ本体の型式、温度センサの種類、コンプレッサとの適合を必ず確かめてください。再生時の窒素パージ配管、安全弁、粗引きポンプの準備も欠かせません。ポンプ側の推奨メンテナンス間隔は16,000時間以内ごと、使用環境温度は10〜35℃程度が目安です。販売を終えた系列の場合は、中古で導入する際に保守部品と修理対応の可否を先に確認しておくべきです。