中古ゲージコントローラーの在庫・価格

ゲージコントローラーは、真空計の測定子(センサヘッド)に駆動電力を供給し、得られた電気信号を圧力値に換算して表示・出力する電子ユニットである。真空計の多くは測定子と制御部が分かれており、制御部がセンサの駆動、信号処理、警報・制御出力、通信をまとめて受け持つ。キャパシタンスマノメータ用の電源・表示器、電離真空計用の制御電源、ピラニや冷陰極など複数種のゲージを1台で扱うマルチゲージ型まで、範囲は広い。
仕組みは接続するゲージの測定原理によって異なる。キャパシタンスマノメータ用では、ヘッドに±15VDC程度の直流電源を供給し、ダイヤフラムの変位に比例して返ってくる0〜10VDCのリニア信号を、設定したフルスケール圧力に合わせて換算・表示する。ゼロ点調整とフルスケールレンジの設定が表示器側の重要な機能になる。熱陰極電離真空計用では、フィラメントを加熱して電子放出量(エミッション電流)を一定に保ち、コレクタに流れる微小なイオン電流を測って圧力に換算する。エミッション電流は10μA〜1mA程度を圧力域に応じて切り替えるのが典型的で、ガス種ごとの比感度補正、電極を通電加熱して吸着ガスを出すデガス機能、10Pa前後を超えるとフィラメントを自動で切る保護機能を備える。ピラニ用ではブリッジ回路で発熱線の温度や電力を制御し、冷陰極用では数kVの高電圧をかけて放電電流を測る。
出力系は機種が違ってもかなり共通している。表示は仮数と指数のデジタル表示で、測定レンジは自動で切り替わる。アナログ出力は0〜10Vが一般的で、リニア出力と対数出力を選べることが多い。圧力のしきい値で接点を開閉するセットポイントは2〜3点が標準的で、チャタリングを防ぐヒステリシスを設定できる。さらに、フィラメントのON/OFFやデガス、レンジホールドを外部から操作するリモートI/Oや、RS-232C・RS-485などのシリアル通信を備え、上位のPLCや装置コントローラに組み込める。粗引き用ゲージと電離真空計を組み合わせ、圧力に応じて自動で切り替えれば、大気圧から10^-7Pa台までを1台で連続して測る構成も組める。
用途は、スパッタやCVD、エッチングなど半導体・FPD製造装置のプロセス圧力の監視と制御、マルチチャンバ装置の各室の圧力管理、粗引きから高真空排気への切替やバルブ開閉のインターロック、ベント完了の検出、研究用の高真空・超高真空装置での到達圧力の測定などである。キャパシタンスマノメータの出力は、自動圧力制御(APC)バルブへのフィードバック信号にも使われる。
実務では、まず接続するゲージヘッドとの適合を確かめる。同じ測定原理でもメーカーや世代によってコネクタのピン配置、供給電圧、信号形式が異なり、合わない組み合わせは誤表示や故障の原因になる。キャパシタンスマノメータでは、表示器側のフルスケール設定をヘッドのレンジに合わせることと、ヒータ付きヘッドを駆動できる電源容量があることが条件になる。中古機を入れる場合は、電源電圧の仕様、表示部やリレー接点の状態、圧力単位(Pa・Torr)の設定、上位装置の入力仕様とアナログ出力形式の整合を確認し、必要に応じて校正済みの基準ゲージと比べて指示値を確かめるとよい。