中古 MKS ゲージコントローラー 270C-4

本装置は、高精度な真空および圧力計測に用いられるキャパシタンスマノメータ（静電容量型真空計）に接続し、信号の処理と圧力値のデジタル表示を行うマルチチャンネル対応のシグナルコンディショナーです。1台に対して最大4台の圧力センサーを同時に接続できる入力ポートを備えており、フロントパネルのセレクタスイッチを操作することで、表示および監視するセンサーのチャンネルを容易に切り替えることが可能です。複数の測定ポイントを持つ真空チャンバーなどの圧力管理を集約化する用途に適しています。

本体内部にはセンサーを駆動するための安定化電源（±15 VDC）を内蔵しており、センサー側から送られてくる微小な電圧信号を高分解能で受信してデジタルディスプレイに表示します。また、設定したフルスケールの圧力範囲に対してリニアな 0 ～ 10 VDC のアナログ電圧出力機能を搭載しています。これにより、外部のPLC（プログラマブルロジックコントローラ）、データロガー、または自動圧力制御バルブなどへの信号伝送を正確に行うことができます。

同社製の非加熱型センサーから、よりシビアな環境で使用される高精度な温度制御型センサーまで幅広く対応可能です。半導体製造プロセス、真空蒸着・スパッタリング装置、研究開発向けの実験設備など、厳密な真空度や圧力のモニタリングが求められる環境において、計測システムの中核として機能します。