中古ターボ分子ポンプコントローラーの在庫・価格

ターボ分子ポンプコントローラーは、ポンプ本体のモーターを駆動し、回転と軸受の状態を監視する専用の電源・制御装置である。商用電源(単相100〜240 Vや三相200 V)を受けて直流に変換し、インバータで高周波の交流をつくってモーターを回す。出力周波数は回転数に比例し、毎分数万回転のポンプでは数百Hzから1.5 kHz程度に達する。ポンプに直付けする一体型と、ケーブルで離して置く単体型・ラック型があり、後者は放射線や強い磁場のある場所、装置ラックへの集約に向く。
基本の仕事は、起動時の加速、規定回転への到達判定、定格回転の維持である。立ち上がりには数分から十数分かかり、設定した時間内に規定回転に届かなければ異常として止める。回転数が定格の8割程度などの設定点を超えると接点を出し、ゲートバルブの開放やプロセス開始の許可に使う。回転数を定格の6割前後に下げて待機するスタンバイ運転や、任意の回転数で回す回転数設定運転ができる機種も多い。
磁気浮上型のコントローラーは、ロータ軸の位置をセンサーで検出し、電磁石の電流を制御して5軸を浮かせる軸受制御回路も持つ。ロータの質量や重心は機種ごとに違い、浮上制御の特性もそれに合わせてあるため、ポンプとコントローラーの組み合わせ(型式・ソフトの版・ケーブル)が厳密に決まっている。玉軸受型でも定格電流や回転数は機種ごとに異なるので、適合表での確認が原則である。
停電時の動きも重要な機能である。磁気浮上型では、停電するとロータの回転エネルギーを回生して軸受制御の電力をまかない、回転が落ちきるまで浮上を保つ。短い停電なら復電後に回転を検出して再加速し、回転が一定以下まで落ちた場合はベントバルブを開けるといった動作を設定できる。
周辺機器の制御も受け持つ。停止時に乾燥窒素を入れるベントバルブ(開ける回転数や時間を設定)、軸受部を守るパージガス弁、生成物の付着を抑える筐体ヒーターや温度管理、水冷・空冷、補助ポンプの起動用リレー、減速を早めるブレーキなどである。
監視項目は回転数、モーター電流・電圧、消費電力、ポンプと電源の温度、運転時間、異常履歴が一般的で、前面の表示器で読むほか、外部とは接点入出力(遠隔の起動・停止、回転到達、異常)、回転数や電流のアナログ出力、RS-232C・RS-485などのシリアル通信、一部はフィールドバスでつなぐ。
中古品では、まず相手のポンプとの適合、入力電圧と相数、ケーブルの長さとコネクタを確かめる。運転時間と異常履歴が読めれば使われ方の手がかりになる。長期保管品は冷却ファンや電解コンデンサの劣化があり得るため、通電前の点検と、実際にポンプをつないだ運転確認が望ましい。