中古テストフィクスチャーの在庫・価格

テストフィクスチャーは、LCRメータやインピーダンスアナライザ、ソース・メジャー・ユニット(SMU)、半導体パラメータアナライザなどの測定端子と被測定物(DUT)をつなぐ接続治具です。測定器の端子はコネクタの形をしているため、リード部品、表面実装部品、パッケージ半導体、誘電体や磁性体の試料などを直接は接続できません。フィクスチャーは、それぞれの形状に合わせて電気的にも機械的にも安定した接触をつくるための器具です。大きく分けると、交流インピーダンス測定用と、直流の電流電圧特性測定用の二つの系統があります。
インピーダンス測定用は、測定器の4端子対構成(電流を流す2端子と電圧を検出する2端子)をそのまま受け、DUTの近くまで電流経路と電圧検出経路を分けて引き回します。DUTの手前で両者を合流させるケルビン接続にすることで、接触抵抗やリードの抵抗が電圧検出に入りにくくなり、低インピーダンスから高インピーダンスまで広い範囲を測れます。測定器のコネクタに直接取り付ける直結型のリード部品用では、使える周波数は直流から十数MHz程度が典型的です。それより高い周波数では接続部の電気長や浮遊容量の影響が大きくなるため、同軸構造の専用フィクスチャーが使われます。部品の形状に合わせて接触チップを交換できる構造も一般的です。
フィクスチャーそのものにも、接触部や導体の残留インピーダンスと、端子間の浮遊アドミタンスがあります。このため測定前には、測定器の補正機能でこれらの影響を取り除くのが基本です。端子を開放した状態で浮遊アドミタンスを、短絡した状態で残留インピーダンスを測って補正するオープン・ショート補正が最も広く使われます。それで足りない場合は、値の分かった基準器を使うオープン・ショート・ロード補正を行い、ケーブルを延長したときはケーブル長補正を併用します。誤差の大きさは周波数、DUTの寸法、置き方によって変わるため、補正は実際に測るときと同じ状態で行うことが精度を確保するうえで重要です。
直流特性測定用は、SMUを接続するトライアキシャル(三重同軸)コネクタを複数備えたシールドボックスの形が典型的です。ガード導体で漏れ電流の経路を断つことで、pA以下の微小電流測定でもケーブルや絶縁体のリークの影響を抑えます。蓋を閉じて外来ノイズを遮るとともに、インターロック端子を測定器と連動させ、蓋が開いているあいだは高電圧が出ないようにする安全機構を持つのが一般的です。SMU入力の定格は200V・1A程度が一つの目安ですが、組み合わせる変換アダプタによって上限が下がる場合があるため、系全体の最大電圧と最大電流を確認する必要があります。DUTはパッケージ別のソケットモジュールやピンクリップ配線でつなぎ、一部のチャネルではケルビン接続による4線式測定もできます。
主な用途は、コンデンサ、インダクタ、抵抗の容量、インダクタンス、損失係数、Q値の評価、受入検査や品質管理、温度特性の評価、誘電率や透磁率といった材料定数の測定です。半導体分野では、ダイオードやトランジスタの電流電圧特性、しきい値電圧、リーク電流、容量電圧特性の評価に使われます。導入や中古調達の際は、測定器側のコネクタ構成(BNCかトライアキシャルか)との適合、対応周波数、最大電圧と最大電流を確認します。あわせて、補正に使うショートバーなどの付属品、交換用の接触電極、ソケット類がそろっているかも、実用上の重要な確認点です。