中古マスフローコントローラー表示器の在庫・価格

マスフローコントローラー表示器は、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーターを動かすのに必要な電源供給、流量設定、流量表示を1台にまとめた周辺機器です。アナログ式のMFCは、駆動用の±15V電源を外から受け取り、流量設定も流量出力もフルスケールに比例したDC0〜5Vでやり取りするものが一般的です。表示器を使えば、PCやPLCを用意しなくても単独で流量を設定・制御できます。
MFC側の仕組みを簡単に述べます。入口から入ったガスは、センサー用の細管とバイパスに分かれて流れます。細管の上流側と下流側には発熱抵抗体が巻かれており、ガスが流れると両者に温度差が生じます。これをブリッジ回路で検出したものが流量出力信号です。内部の制御回路は、外部から入る設定信号とこの出力信号が一致するように、制御バルブの開度をPID動作で調整します。
表示器はこのやり取りの相手役を務めます。ツマミやキーで決めた設定値をD/A変換して0〜5Vの設定信号として出し、MFCから返る0〜5Vの出力信号をA/D変換して読み取ります。読み取った値はフルスケール値に合わせて換算され、sccmやSLMなどの流量として表示されます。製品例では、表示精度はF.S.±0.1%±1digit程度、設定電圧の精度は±10mV程度です。表示を平均化する時間は0.1〜1秒程度の範囲で設定できます。電源出力は+15Vで200mA、−15Vで300mA程度が典型で、商用電源はAC100〜240Vに対応しています。48×96mm級のパネル取付型も多く見られます。
付加機能も実務では重要です。瞬時流量と積算流量の切り替え表示、設定値に対する上下限アラームの接点出力(オープンコレクタでDC30V・50mA程度)が代表的です。ほかに、バルブを強制的に全開または全閉にする信号(±15V)の出力や、外部の設定信号に切り替える外部制御モードがあります。設定値と流量出力をモニター電圧として外へ出せるものもあり、記録計やデータロガーにつないで流量を記録できます。
用途は、研究室や試作ラインでのガス供給が中心です。たとえばCVDやスパッタなど真空成膜装置へのプロセスガス導入、分析装置のキャリアガス、燃料電池の評価、培養や燃焼試験などがあります。量産装置では上位コントローラーが直接MFCを制御するのが普通です。一方、表示器はMFCの単体での動作確認、流量の校正チェック、故障原因の切り分けといった保守の場面でもよく使われます。
選定と運用では、まずコネクタの形状とピン配置を確認します。MFCとの互換性は、ここがメーカーや系列ごとに違う点に左右されます。電源の種類も確認が必要で、±15V系か、+24V単電源や4〜20mA入出力に対応する系かを見ます。RS-485などデジタル通信専用のMFCでは、対応した表示器が必要です。
ガス種による補正にも注意が要ります。熱式MFCの指示値は、ガスの比熱などで変わります。そのため、校正ガスと実際に流すガスが違う場合は、窒素を1とするコンバージョンファクターで換算します。目安の値はヘリウムやアルゴンで1.40、二酸化炭素で0.74程度ですが、あくまで近似です。
また、MFCは設定をゼロにしたり強制クローズにしたりしても、流れを完全には止められません。確実に遮断するには、上流に遮断弁を設けて開閉を任せます。運転時は、一次側と二次側の差圧を仕様の範囲に保つことが前提です。二次側が大気開放なら50〜300kPa程度が目安です。