中古マスフローコントローラー・流量計の在庫・価格
在庫 242点 価格 10,000〜100,000円（税別・送料別／価格掲載 237点） 過去の取扱 330件
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中古マスフローコントローラー・流量計の在庫 242点・1/7ページ
新しく登録した在庫から順に並べています。価格は税別・送料別です。
中古マスフローコントローラー・流量計の価格の目安
2026年10月9日時点で当社が販売している在庫のうち、価格を載せている237点の販売価格です(税別・送料別)。売却済の品の価格は含みません。同じ型式でも年式・状態・付属品で価格は変わります。型式の表は在庫の多い50型式までです。
| 種類 | 価格(税別) | 在庫 |
|---|---|---|
| マスフローコントローラー（MFC） | 10,000〜 | 219 |
| マスフローメーター | 30,000〜 | 9 |
| マスフローコントローラー電源 | 20,000〜 | 2 |
| マスフローコントローラー表示器 | 20,000円 | 1 |
| 超音波流量計 | 30,000円 | 1 |
| フローコントローラー | 20,000円 | 3 |
| コリオリ式質量流量計 | 50,000円 | 1 |
| 気化器コントローラー | 30,000円 | 1 |
メーカー・型式ごと(在庫の多い順)
| メーカー | 型式 | 価格(税別) | 在庫 |
|---|---|---|---|
| Aera | FC-770AC | 30,000円 | 17 |
| Unit | UFC-1100 | 30,000円 | 11 |
| Tylan | FC-770AC | 30,000円 | 10 |
| 堀場エステック Stec | SEC-410 | 30,000円 | 10 |
| Aera | FC-780C | 30,000円 | 9 |
| Aera | FC-D980 | 30,000円 | 8 |
| Aera | FC-D980C | 30,000円 | 8 |
| Tylan | FC-781C | 30,000円 | 8 |
| ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | 60,000円 | 8 |
| Tylan | FC-260 | 30,000円 | 7 |
残り40型式を見る
| メーカー | 型式 | 価格(税別) | 在庫 |
|---|---|---|---|
| Tylan | FC-780C | 30,000円 | 7 |
| Tylan | FM-860 | 30,000円 | 7 |
| Aera | FC-260J | 30,000円 | 6 |
| Unit | UFC-1200 | 30,000円 | 4 |
| Aera | FC-780 | 30,000円 | 3 |
| Aera | FC-790C | 30,000円 | 3 |
| Brooks | 5877 | 30,000円 | 3 |
| Tylan | FC-760 | 30,000円 | 3 |
| Tylan | FC-771C | 30,000円 | 3 |
| 堀場エステック Stec | SEC-410-146 | 30,000円 | 3 |
| 堀場エステック Stec | SEC-410NC | 30,000円 | 3 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400R | 30,000円 | 3 |
| 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | 40,000円 | 3 |
| Aera | FC-260E | 30,000円 | 2 |
| Aera | FC-771AC | 30,000円 | 2 |
| Tylan | FC-761 | 30,000円 | 2 |
| Tylan | FC-780 | 30,000円 | 2 |
| 堀場エステック Stec | SEC-400MK3-K | 30,000円 | 2 |
| 堀場エステック Stec | SEC-421 | 30,000円 | 2 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | 30,000円 | 2 |
| 堀場エステック Stec | SEC-500MK3 | 30,000円 | 2 |
| 堀場エステック Stec | SEC-E440 | 30,000〜 | 2 |
| Aera | FC-770A | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-771A | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-781C | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-790 | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-980 | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-981 | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-D981 | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-D981C | 30,000円 | 1 |
| Aera | FC-R7710CD | 40,000円 | 1 |
| Aera | FCPI980 | 30,000円 | 1 |
| Aera | FCPI981 | 30,000円 | 1 |
| Aera | PS-74DA | 20,000円 | 1 |
| Aera | SOURCE VJ | 30,000円 | 1 |
| MKS | 1480A-25077 | 20,000円 | 1 |
| MKS | 649A-27650 | 50,000円 | 1 |
| MKS | M100B00752CS1BV | 40,000円 | 1 |
| MKS | M100B02852CS1BV | 40,000円 | 1 |
| SAM | SFC480EMC-4VM | 30,000円 | 1 |
マスフローコントローラー・流量計について
AIでまとめた分野の一般的な解説です。個々の商品の仕様・状態は各商品ページでご確認ください。
マスフローコントローラー・流量計は、半導体製造装置や成膜装置、研究用の真空装置で、ガスや液体の流れを測り、決めた量に制御するための機器の分野である。中心になるのはマスフローコントローラー(MFC)で、温度や圧力が変わっても質量流量として一定のガスを送り込めるため、プロセスの再現性を支える要の部品になっている。多くは気体の熱の運ばれ方から流量を求める熱式で、センサー管を流れるガスが上流側の熱を下流側へ運ぶ量から質量流量を求める。
この分野の機器は役割で大きく三つに分けられる。一つ目は流量を制御する物で、センサーと制御弁を一体にしたMFCや、より簡単なフローコントローラーがこれにあたる。二つ目は流量を測るだけの物で、制御弁を持たないマスフローメーター、液体の流量を配管の外や内から測る超音波流量計、管の振動から質量流量を直接求めるコリオリ式質量流量計がある。三つ目は周辺の機器で、MFCに電源を与えて設定と表示を行うマスフローコントローラー電源や表示器、流れの有無を接点で知らせるフロースイッチ、液体原料を気化して送る気化器のコントローラーがある。
実際の装置では、ガス一系統ごとにMFCとストップバルブ、フィルターなどを並べたガスユニットを組み、装置のコントローラーから設定値を与えて使う。単体の実験装置では、MFC電源や表示器を介して手元で流量を設定する使い方が多い。冷却水の流れを監視するフロースイッチは、電源や電極を守るインターロックとして装置の各所に付く。液体原料を使うCVDなどでは、液体の流量を制御したうえで気化器で気体にし、配管を加熱して凝縮を防ぎながらチャンバーへ送る構成になる。
もう一つの柱が、流量を確かめるための機器である。MFCの表示値が実際の流量とずれていないかを現場で確かめるマスフローチェッカーや、一定体積を膜が通過する時間から流量を求める精密膜流量計は、校正や点検の基準として使われる。流量計のなかには、流れの一部を分けて測るための分流器のように、測定範囲を広げる付属の部品もある。
選び分けの起点は、扱う流体が気体か液体か、流量を制御したいのか測るだけでよいのか、の二つである。気体を一定量流したいならMFC、流れを監視するだけならマスフローメーターやフロースイッチ、液体の流量ならコリオリ式や超音波流量計、液体原料を気体にして送るなら気化器と液体用の流量制御器、という見当になる。そのうえでガス種とフルスケール流量、信号の形、継手を装置に合わせて絞り込む。
中古マスフローコントローラー・流量計を選ぶときの確認点
- ガス種とフルスケール流量
- 熱式のMFCは校正したガス種とフルスケール流量(sccmやslmで表す)で仕様が決まります。銘板や校正票に書かれたガス種とレンジが、使う予定のガスと流量に合うかを確かめてください。
- 信号と通信の方式
- 設定と出力が0〜5Vなどのアナログ信号か、DeviceNetなどのデジタル通信かで、つなげる装置が変わります。コネクタのピン配置もメーカーや系列で違うため、装置側や電源・表示器との対応を確かめてください。
- 継手とシールの形式
- VCRのような金属ガスケットの面シール継手か、食い込み式継手かなど、配管との接続形式とサイズを確かめてください。ガスユニットに組み込む物は、取付け面の形と寸法が合わないと付け替えられません。
- 前の使用ガスと腐食
- 塩素系やフッ素系などの腐食性ガス、毒性のあるガスを流していた物は、センサー管や弁座の腐食、付着物で流量がずれることがあります。前に流していたガスが分かれば確かめ、扱う前のパージの要否も考えてください。
- 電源・表示器との組合せ
- アナログ型のMFCは、典型的には±15V程度の直流電源と設定器が別に要ります。単体で使うなら、対応するMFC電源や表示器とケーブルがそろうかを合わせて確かめてください。
- 校正の履歴と換算係数
- 流量の正しさが結果を左右するため、最後に校正した時期と、別のガスで使う場合の換算係数(CF)を確かめてください。厳密さが要る用途では、取り付ける前に校正やマスフローチェッカーでの確認を見込みます。
AIでまとめた一般的な確認点です。個々の商品の付属品・状態は各商品ページでご確認ください。
過去に扱ったメーカー・型式
売却済・在庫なしを含む上位30型式。同じ型式をお探しなら 入荷したらお知らせします。
| メーカー | 型式 | 機種 | 台数 | 最終 |
|---|---|---|---|---|
| 堀場エステック Stec | SEC-410NC | マスフローコントローラー（MFC） | 27 | 2025年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-E40 | マスフローコントローラー（MFC） | 26 | 2026年 |
| SMC | PF2A703H-10-28-M | フロースイッチ | 16 | 2016年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | マスフローコントローラー（MFC） | 15 | 2026年 |
| Aera | FC-770AC | マスフローコントローラー（MFC） | 13 | 2026年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400MC | マスフローコントローラー（MFC） | 10 | 2026年 |
| Unit | UFC-1200A | マスフローコントローラー（MFC） | 9 | 2024年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400M | マスフローコントローラー（MFC） | 8 | — |
| 堀場エステック Stec | SEC-410 | マスフローコントローラー（MFC） | 8 | 2026年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400RO | マスフローコントローラー（MFC） | 7 | 2026年 |
残り20型式を見る
| メーカー | 型式 | 機種 | 台数 | 最終 |
|---|---|---|---|---|
| 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | マスフローコントローラー（MFC） | 6 | 2026年 |
| 堀場エステック Stec | PE-D20 | マスフローコントローラー電源 | 6 | 2020年 |
| 堀場エステック Stec | PAC-6E | マスフローコントローラー電源 | 5 | 2026年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | マスフローコントローラー（MFC） | 5 | 2026年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-E440J | マスフローコントローラー（MFC） | 5 | 2024年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400MO-UC | マスフローコントローラー（MFC） | 4 | 2026年 |
| Brooks | 5850E | マスフローコントローラー（MFC） | 4 | 2023年 |
| コフロック Kofloc | 3440 | マスフローコントローラー（MFC） | 4 | 2022年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4500 MO-SUC-082 | マスフローコントローラー（MFC） | 4 | 2022年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-Z541X | マスフローコントローラー（MFC） | 4 | 2021年 |
| 堀場エステック Stec | PAC-S5 | マスフローコントローラー電源 | 4 | 2020年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-4400R | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | 2026年 |
| Unit | UFC-8160 | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | 2024年 |
| Unit | UFC-8100 | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | 2024年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | マスフローコントローラー | 3 | 2024年 |
| アネルバ ANELVA | CMS-201 | フローコントローラー | 3 | 2023年 |
| 堀場エステック Stec | SEC-Z542KV | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | 2021年 |
| コフロック Kofloc | 8500MC-0-1-1 | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | 2020年 |
| Unit | UFC-1200 | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | — |
| 堀場エステック Stec | PACS5 | マスフローコントローラー（MFC） | 3 | — |
マスフローコントローラー・流量計のよくある質問
QMFCとマスフローメーターの違いは何ですか？
Q校正したガスと違うガスでMFCを使えますか？
Qsccmとslmはどういう単位ですか？
Q液体の流量を測ったり制御したりするにはどの機器を使いますか？
Q使わなくなったマスフローコントローラー・流量計を売ることはできますか？
マスフローコントローラー・流量計の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー・流量計がありましたら、無料で査定します。設備更新・研究終了・移転などで手放す予定の機器は、廃棄・処分する前に一度ご相談ください。1台から、研究室・工場の一括売却まで全国に対応します。