中古マスフローコントローラー電源の在庫・価格

マスフローコントローラー電源は、熱式マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーターを動かすための直流電源、流量の設定信号を出す回路、流量表示部をひとつにまとめた周辺機器です。リードアウトユニットやコントロールユニットとも呼ばれます。アナログ式のMFCは本体に操作部を持たないものが多いため、装置の制御盤に組み込まない単体運用では、この種の電源がほぼ必須になります。
仕組みはMFCとの入出力の組み合わせで説明できます。電源側はMFCに±15VDCを供給し、0〜5VDCの流量設定信号(SET)を送ります。MFCは内部のセンサーで測った流量を0〜5VDCの出力信号(OUT)として返し、電源側はこれをフルスケールに対する比率や実流量の単位に換算して表示します。前面のつまみやキーで設定値を変える内部設定のほかに、背面端子から0〜5Vの外部設定値を入れるモードを備えるのが一般的です。さらに、バルブ制御線に+15Vまたは-15Vを加えて、内蔵の制御バルブを強制的に全開・全閉にする機能もよく見られます。
仕様の目安を挙げます。表示は3桁半から4桁半程度、表示精度はフルスケールの±0.1%程度です。±15V出力の容量は、1チャンネル機で数百mAから0.5A前後、4チャンネル機で1A前後が典型で、リップルを10mV以下に抑えた機種もあります。電源入力はAC100〜240Vが主流です。チャンネル数は1チャンネルのものと、4チャンネル程度を切り替えて表示する多チャンネルのものに分かれ、パネル取り付け型と卓上型があります。多チャンネル機は、流量の上限・下限アラームのオープンコレクタ出力や、記録計向けのモニター出力を持つことが多いです。窒素で校正したMFCで別のガスを流すときに表示を補正するガス補正係数(例えば0.1〜4.0の範囲)を設定できる機種もあります。
主な用途は、CVD、スパッタリング、ドライエッチングなど真空成膜・プロセス装置へのガス導入制御です。ほかに、研究室の反応管やチャンバーへのキャリアガス供給、複数のガスを決まった比率で混ぜる実験系、MFCの動作確認や流量点検にも使われます。外部設定入力やオン・オフ入力を使えば、PLCやPCからのアナログ制御と手動操作を一台で兼ねられます。
実務で一番注意すべきなのはコネクタとピン配置の互換性です。MFC側のコネクタはD-sub 9ピンや15ピン、エッジコネクタなどメーカーや世代によって違い、同じ形状でも電源、信号、バルブ制御線の割り当てが異なることがあります。誤配線するとMFCを壊すおそれがあるため、両方の取扱説明書でピン配置を照らし合わせてから専用ケーブルを使うか、変換ケーブルを作ってください。電源容量も、接続するMFCの消費電流の合計に余裕を持たせて選びます。測定の誤差を避けるには、設定・出力信号のコモンと電源コモンの扱いに気を配り、通電してしばらく暖機してからゼロ点を確認します。なお、全閉機能はMFC内蔵の制御バルブを閉じるだけで、完全に遮断できるわけではありません。ガスを確実に止めるには、別に遮断弁を設けるのが基本です。最近は+24V単電源で動き、表示部やデジタル通信を内蔵したMFCも増えていますが、±15V駆動のアナログMFCは既設装置や中古市場に多く残っており、それに合わせた電源の需要も続いています。