中古測定顕微鏡（工具顕微鏡）の取扱実績・入荷のご連絡

測定顕微鏡は、拡大した像を目印にして、部品の長さ・角度・輪郭形状を触れずに測る光学式の寸法測定機である。もとは切削工具やねじ、型板などを測るために発展したもので、工具顕微鏡とも呼ばれる。JIS B 7153は、長さ・角度・輪郭などを測る顕微鏡を対象としており、観測顕微鏡、精密十字動テーブル、それらを支えるベースとコラムで構成されると定めている。
測る仕組みは、測定点に照準を合わせる操作と、ステージの移動量を読む操作の組み合わせである。接眼レンズの十字線や、カメラ画像に重ねたクロスヘアを一方のエッジに合わせる。次にXYステージを送り、もう一方のエッジに合わせる。その間の移動量をマイクロメータヘッドや光学式リニアスケールで読み取り、寸法とする。光学系の役目は拡大して照準を正確にすることで、長さの基準はスケールの側にある。このため、視野より大きな寸法でも、ステージのストローク内なら測れる。ストロークは小型機で50〜100mm程度、大型機で400mm級まであり、デジタル表示の最小表示量は1μmから0.1μm程度が一般的である。Z方向は、ピントを合わせた位置から高さを求める方式が多く、XYより精度は低い。
照明は測る対象に合わせて切り替える。透過照明は、ワークの下から光を当てて輪郭を影として映すもので、外形・穴径・ピッチの測定に向く。同軸落射照明は、対物レンズと同じ軸から表面を照らすもので、加工面や印刷パターンの観察に使う。リング照明などで斜めから照らすと、段差や欠けが陰影として見やすくなる。付属品として、角度目盛付きの接眼レンズや回転テーブルで角度を測るもの、ねじ山や円弧の型板を刻んだ接眼レンズで輪郭を比べるものがある。近年はカメラと画像処理を組み合わせ、エッジの検出や円・距離・角度の計算、データ出力を自動で行う構成が増えている。
精度について、JIS B 7153は0級と1級の2等級を定めている。各軸の測定精度は、20℃で0級が(2+0.01L)μm以下、1級が(4+0.02L)μm以下である(Lは測定長、単位mm)。テーブル移動の真直度、X軸とY軸の直角度、回転テーブルの角度の指示精度なども検査項目に入っている。実際に出る精度は、室温の管理、ワークの固定、ピント合わせ、エッジの判定のしかたに大きく左右される。厚みのあるワークや丸棒を透過照明で測ると、エッジがぼけたり光が回り込んだりして読みが変わる。照明の絞りや判定の条件を毎回そろえることが大切である。
主な用途は、切削工具の刃先形状や摩耗幅の測定、ねじやゲージの検査、プレス品・樹脂成形品・電子部品・プリント基板の寸法確認、精密部品の外観検査などである。投影機より高い倍率で小さな形状を測れ、三次元測定機と違ってワークに触れないため、柔らかい部品や微小な部品にも使える。一方、多数の点を自動で測る量産品の検査では、画像測定機が選ばれることが多い。