中古三次元測定機・形状測定機・粗さ計の在庫・価格

三次元測定機・形状測定機・粗さ計は、部品や試料の寸法、形、表面の凹凸を測る機器の分野である。機械部品の寸法検査から、半導体や光学部品の表面の細かな段差や平面度の評価まで、測る大きさはメートル単位からナノメートル単位まで幅広い。製造現場の検査室と、研究開発の評価室の両方で使われている。
寸法を測る機器の中心が三次元測定機(CMM)である。プローブを部品に当てて空間の座標を拾い、穴の位置や径、面の傾きなどを計算で求める。画像測定機と投影機はカメラや光学系で輪郭を捉えて寸法を測る非接触の機器で、小さな部品や薄く柔らかい物の測定に向く。測定顕微鏡も同じ仲間である。
形と表面を測る機器には、触針でなぞって輪郭を描く形状測定機、回転させて丸さや円筒の形を測る真円度・円筒形状測定器、表面の細かな凹凸を数値にする粗さ計、薄膜のパターンの高さを測る段差計がある。レーザー顕微鏡や白色干渉を使う非接触の表面形状測定機も広く使われる。レンズやウエハーのような面全体の平らさや形を測るのが、レーザー干渉計や平坦度計である。
変位と厚さを測る機器も含まれる。レーザー変位計や接触式のリニアゲージ、各種の変位計は、位置の変化や高さの違いを測るセンサーとして、生産ラインや装置に組み込んで使われることも多い。厚さ測定器は、接触式のほか、超音波で片側から肉厚を測る物もある。レーザースキャナーは物の形を点の集まりとして丸ごと取り込む。
選び分けは、測る対象の大きさと必要な精度、触れて測ってよいか、何を評価したいかで決まる。寸法と位置なら三次元測定機や画像測定機、輪郭なら形状測定機、表面の細かさなら粗さ計や段差計、面全体の形なら干渉計が基本になる。接触式は安定して高い精度を出しやすく、非接触式は速く試料を傷めない。手動で一つずつ測る機種と、プログラムで自動に測る機種(CNC)では、検査の量への向き不向きも違う。検査の数が多い現場では自動の機種と測定プログラムの作りやすさが、研究の評価では測れる範囲と分解能の広さが重視される。測定結果を図面の公差と照らして合否を出すか、形のデータとして解析に回すかでも、必要なソフトの機能が変わる。
この分野の機器は、設置環境と校正で精度が決まる。温度変化や振動の少ない部屋に置き、ブロックゲージや粗さ標準片などの基準器で定期的に確かめることが前提になる。中古では、プローブや検出器、解析ソフトなど本体の外にある部分が揃っているかが重要である。