中古超音波洗浄機の在庫・価格

超音波洗浄機は、洗浄液中に超音波を放射し、その物理作用で被洗浄物（ワーク）表面の汚れを剥離・分散させる洗浄装置である。基本構成は、商用電源を高周波電力に変換する発振器と、それを機械振動に変える振動子の二つで、振動子にはPZTなどの圧電セラミックスを金属ブロックで締め付けたボルト締めランジュバン型振動子が広く使われる。振動子は槽の底面や側面に接合され、ステンレスなどの振動面から液中へ超音波が放射される。
洗浄作用は、キャビテーション、液分子の加速度、物理化学的反応の促進の三つの相互作用によるとされ、中心はキャビテーションである。超音波は疎密波なので液中には正圧と負圧が交互にかかり、負圧時に生じた微小な空洞が膨張と収縮を繰り返して成長し、限界で崩壊する。そのとき生じる衝撃波が汚れを叩き落とす。キャビテーションは周波数が低いほど発生しやすく強く、加速度は周波数が高いほど大きくなるため、周波数が最も重要な仕様になる。
実用化されている作動周波数はおおむね15kHzから3MHzに及ぶ。プレス部品や切削加工品の油汚れ、切粉、研磨剤、フラックスの除去には26〜38kHz付近の低周波機が選ばれる。レンズやHDD部品などの精密部品には70〜400kHz近辺、液晶ガラスや半導体ウエハのパーティクル除去にはメガソニックと呼ばれる500kHz〜3MHz帯が用いられる。低周波ほど洗浄力は強いが、アルミなど軟らかい材料ではエロージョン（表面の浸食）を起こすおそれがあり、高周波ほどワークへのダメージは小さい。
実務上の第一の注意点は洗浄ムラである。液中には周波数に応じた定在波が立ち、音圧の腹にキャビテーションが集中するため、低周波機では周波数を上下に振るスイープ発振、ワークの揺動、異なる周波数の振動子の組み合わせなどで均一化を図る。また振動子の作動周波数は液深や液温で変わるので、周波数自動追尾回路や定出力回路を備えた発振器が一般的である。溶存気体が多いと超音波が減衰・散乱して効果が落ちるため、適度な脱気は洗浄力の向上とワークへの気泡付着の防止に有効である。洗浄効果は物理作用と洗浄液の化学作用の組み合わせで決まるので、水系洗剤、アルカリ、炭化水素系やアルコール系溶剤などを汚れに応じて選ぶ。引火性の溶剤を使う場合は防爆構造など溶剤に対応した専用機が前提で、一般の卓上機に可燃性液体を入れてはならない。キャビテーションで槽の底面が徐々に摩耗する点も、長期運用では考慮が要る。
形態は、発振器を内蔵した卓上型（一体型）、既設の槽に沈める投込型振動子、槽にネジで取り付ける振動板、流れる洗浄液に超音波を乗せるライン型・スポット型シャワー、局所的に大振幅を得るホーン型などに分かれる。研究室では器具の洗浄や試料の分散・脱気に小型の卓上機が多く使われ、工場では洗浄・すすぎ・乾燥を組み合わせた多槽式の手動・半自動・自動搬送ラインに組み込まれる。半導体・電子部品の分野では、有機溶剤による脱脂槽や高周波槽を連ねた専用装置として使われることが多い。