中古洗浄機（超音波・ウェット）の在庫・価格

洗浄機(超音波・ウェット)は、水や洗浄剤、有機溶剤などの液体に部品や基板を浸して汚れを落とす装置の分野で、その代表が超音波洗浄機である。油分・研磨剤・パーティクル・フラックスの残りなどを、液の化学的な作用と超音波の物理的な作用で取り除く。研究室の器具や試料の洗浄から、精密部品や光学部品、電子部品、半導体の製造まで、使われる場所は幅広い。汚れの種類に合わせて液を選び、超音波で液の働きを細部まで届けるのが基本の考え方である。
超音波洗浄機は、発振器で作った高い周波数の電気信号を、槽の底や側面に取り付けた振動子で超音波の振動に変えて洗浄液に伝える。液の中では微小な気泡が生まれて潰れるキャビテーションが起き、その衝撃と液の流れで、細かな隙間や穴の奥の汚れまではがれる。研究室で使う卓上型は槽と発振器が一体になったものが多く、生産用には槽と発振器が別の機種や、既存の槽に沈めて使う投げ込み式の振動子もある。
周波数は洗浄の性格を決める要素である。典型的には数十kHzの低い周波数は衝撃が強く、金属部品の油や固着した汚れに向く。周波数を上げるほど衝撃は細かく穏やかになり、小さなパーティクルの除去や、傷つきやすい部品の洗浄に向く。半導体やガラスの基板では、さらに高いメガソニックと呼ばれる帯域も使われる。洗浄液を温めると汚れが落ちやすくなるため、ヒーターを備えた機種も多い。周波数を少しずつ揺らして槽の中の洗浄むらを減らす機能や、液に溶けた空気を抜く脱気の機能を持つ機種もある。
ウェット洗浄の装置としては、洗浄・すすぎ・乾燥の槽を並べた多槽式の洗浄機や、アセトン・アルコール・炭化水素系などの有機溶剤で洗う有機洗浄機、溶剤の蒸気で仕上げる蒸気洗浄機がある。半導体の分野では、酸やアルカリの薬液槽と純水のすすぎ槽を並べたウェットベンチでウェーハを洗う。洗った後に液が残るとシミや再汚染の原因になるため、スピン乾燥や温風乾燥、溶剤への置換による乾燥を組み合わせる。
選び分けは、洗う物の大きさと材質、落としたい汚れ、使う液で決まる。試料や器具を手作業で洗うなら卓上の一槽式、同じ部品を繰り返し洗うなら多槽式や、かごを上下させる機構の付いた機種が向く。引火性の溶剤を使うなら溶剤用に作られた機種を選び、酸やアルカリを使うなら槽や配管の材質が液に耐えるかを確かめる必要がある。研究室では、水を張った槽にビーカーや試料の容器を入れて間接的に洗う使い方もあり、少量の溶剤や薬液を槽に直接入れずに扱える。