中古防振台の在庫・価格

防振台は、床や基礎から伝わる振動を遮って、上に載せた精密機器の測定精度や加工精度を保つための支持台です。外部の振動を機器に伝えない「除振」の役割に加え、ポンプなど振動を出す機械の揺れを周囲に伝えない「防振」の役割を担う場合もあります。基本構成は、機器を載せる天板(定盤)、ばね要素、減衰要素、そしてそれらを支える架台です。小型の卓上型から、大型の定盤を空気ばねで浮かせた据え置き型まで、大きさの幅は広くあります。
原理は、ばねと質量からなる1自由度の振動系で説明できます。固有振動数fnは搭載質量mとばね定数kで決まり、fn=1/2π×√(k/m)と表されます。床振動の振動数fとfnの比が大きいほど、床から伝わる振動は小さくなります。性能は台上と床上の振動の比である振動伝達率で評価します。振動伝達率が1を下回る(減衰が始まる)のはfnの約√2倍より高い周波数で、たとえばfn=3Hzの台では10Hzで床振動の約10%、20Hzで約3%まで下がるのが一例です。一方、fn付近の共振域では振動がかえって増幅されます(例として約7倍)。このため、空気の流れを絞るオリフィスなどで減衰を加え、共振のピークを抑えます。
ばね要素は主に空気ばね、コイルばね、防振ゴムの3種類です。空気ばねは圧縮空気をゴム膜に封じ込めて、その圧縮性をばねとして使います。固有振動数を1.5〜4.5Hz程度と低くでき、自動レベル調整器を組み合わせれば、荷重の変動や重心の移動があっても天板を水平に戻せます。ただし圧縮空気の供給が必要です。コイルばねは空気源が要らず保守が簡単ですが、固有振動数は垂直方向で4〜7Hz程度とやや高めです。防振ゴムは安価で安定性が高い反面、除振性能は控えめです。コイルばねも防振ゴムも、重心が移動するとたわんで傾く点に注意が必要です。
実務で重要なのは、除振性能と揺れが収まるまでの時間(セットリングタイム)のトレードオフです。ばねを柔らかくして固有振動数を下げると除振性能は上がりますが、台上のステージ駆動や操作で生じた揺れが長く残ります。逆に硬くすると、揺れは早く収まるものの除振性能は下がります。この問題への対策として、センサで振動を検出し、アクチュエータで打ち消すアクティブ方式があります。共振をほぼなくせるので、パッシブ方式が苦手な1〜10Hz前後の低周波域に強みがあります。
主な用途は、光学実験やレーザー干渉計、光学顕微鏡・電子顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡、三次元測定機などの精密測定機、精密天秤、半導体の検査・製造装置です。選定では、設置する床の振動を周波数ごとに測り、搭載機器が許容する振動レベルと照らし合わせたうえで、搭載質量と重心位置、可動部が生む加振力、空気源の有無を確認します。あわせて、天板のサイズやタップ穴の配置、磁性材か非磁性材か、クリーンルームで排気をどう扱うかも検討します。