中古 昭和サイエンス SHOWA 防振台 PB-5AH

防振台の主な特徴

防振台は、床からの微細な振動が精密機器に伝わるのを防ぎ、また機器自身が発生させる振動を急速に抑え込むために設計された専用の架台です。一般的な作業台とは異なり、目に見えないレベルの揺れ（数ヘルツから数百ヘルツ）を制御できる点が最大の強みです。

主な特徴として、高い振幅減衰能力と優れた剛性・平坦性が挙げられます。防振台の天板には、定盤（ハニカム構造のステンレス板や重厚な花崗岩）が用いられ、外部からの力に対して変形しにくい構造になっています。また、設置場所の傾きを補正する水平維持機能や、制御方式の違いによって「パッシブ防振台」と「アクティブ防振台」の2種類に大別される点も特徴的です。

防振台の仕組み

防振台が振動を遮断する仕組みは、物理学における「固有振動数」と「共振」の性質を利用した物理的機構と、電子制御技術に分かれます。

• パッシブ（受動）方式の仕組み
• 主に「空気バネ」や防振ゴム、コイルバネなどの減衰要素を利用します。特に高性能なモデルでは空気バネが多用されます。防振台全体の固有振動数を、床から伝わる振動の周波数よりも十分に低く設定（例えば1～2Hz程度）することで、床が揺れても天板の上にはその揺れがほとんど伝わらない状態を作り出します。空気バネ内部のエアを調整することで、荷重変化に応じた水平レベルの自動調整も行われます。

• アクティブ（能動）方式の仕組み
• センサーとアクチュエータを用いた電子制御システムです。防振台に内蔵された加速度センサーや振動センサーが微少な揺れをリアルタイムで検知し、その振動を打ち消すための「逆位相の力」をピエゾ素子やリニアモータ（アクチュエータ）を用いて瞬時に発生させます。パッシブ方式では除去しきれない0.5～5Hz程度の極低周波の振動や、天板上の機器自体が動いた際に生じる揺れも強力に抑制できます。

防振台の主な用途

防振台は、ナノメートル（100万分の1ミリ）単位の精度が求められる先端技術領域から医療分野まで、幅広い用途で不可欠な存在となっています。

• 半導体・ナノテクノロジー分野
• 走査型電子顕微鏡（SEM）や透過型電子顕微鏡（TEM）、原子間力顕微鏡（AFM）といった超高倍率の観察装置の台座として使用されます。周囲の歩行や空調の風、遠くの道路交通による微振動でも像がぶれてしまうため、防振台による振動遮断が必須となります。また、半導体露光装置やウェハ検査装置の基盤としても重要です。

• 光学・レーザー実験分野
• レーザー干渉計やホログラフィ、分光分析装置などの光学系実験では、光の波長レベルでの位置ズレが実験結果を大きく左右します。光軸を固定し、外部からの干渉を防ぐために高剛性な防振台が使用されます。

• バイオ・医学分野
• 顕微授精や細胞操作（マイクロマニピュレーション）、パッチクランプ法による生理学実験などで活用されています。作業者の手元の微細な動きや機器のブレを抑え、成功率を高める役割を果たします。

• 精密計測・製造分野
• 三次元測定機や超精密天びん、表面粗さ計など、微少な物理量を正確に測定する現場で、外部環境の不確かさを排除するために設置されています。