中古 ニッシン マイクロ波電源 MPS-15D
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本体価格(税別、送料別)150,000円
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- メーカー
- ニッシン
- 型式
- MPS-15D
- 機種
- マイクロ波電源
- 管理番号
- F032213
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MPS-15D の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | プラズマ用マイクロ波電源(電源部+マグネトロン発振部 セパレート型) |
|---|---|
| 発振周波数 | 2455±20 MHz |
| 出力電力 | 200〜1500 連続可変(整合負荷)、連続定格1500W W |
| 出力制御 | 入射電力フィードバック制御(要パワーモニタ)/入力電力制御 |
| 出力安定度 | 入力190〜220Vの変動に対し±2%以内(1.5kW時) |
| 入力電源 | 三相 190〜220V 50/60Hz、4.5kVA以下 |
| 冷却 | 強制空冷(電源部・発振部とも) |
| 出力フランジ | BRJ-2(MG-10J)または TBR-2A2(MG-10T) |
| 保護機能 | ファン故障、オーバーヒート、インバータ過電流/過電圧、外部インターロック、マグネトロンヒータ断線 |
| 寸法・質量(電源部) | 480W×450D×169H mm、25kg以下 |
| 寸法・質量(発振部) | 246W×258D×241.9H mm、13kg以下 |
※値は社内保管のニッシン MPS-15D カタログ。掲載品に発振部・パワーモニタが付属するかは要確認。
出典: メーカー資料
ニッシン MPS-15D の装置概要 AIによる記述です
マグネトロンで発生させたマイクロ波を送り、マイクロ波プラズマを立てるためのプラズマ用マイクロ波電源です。電源部とマグネトロン発振部が分かれたセパレート型で、プラズマCVDやアッシング、表面処理などの装置に組み込んで使われます。
発振周波数は2455±20 MHz、出力電力は200〜1500 Wの連続可変で、1500 Wの連続定格です。出力の制御は、パワーモニタを使う入射電力フィードバック制御と、入力電力制御から選べます。入力電源は三相190〜220V 50/60Hz(4.5kVA以下)で、電源部・発振部とも強制空冷です。保護機能として、ファン故障、オーバーヒート、インバータの過電流・過電圧、外部インターロック、マグネトロンヒータ断線の検出を備えます。
電源部は480W×450D×169H mm、発振部は246W×258D×241.9H mmです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。