中古 ノダRFテクノロジーズ 位相シフター NXE-03B-2P
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- メーカー
- ノダRFテクノロジーズ
- 型式
- NXE-03B-2P
- 機種
- 真空コンポーネント
- 仕様
- NR1N-11 2台セット販売時に付属
- 管理番号
- G122114
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 電源(現品銘板) | AC100〜200V 単相 50/60Hz |
|---|
NXE-03B-2P の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 基準周波数 | 13.56(±0.005%) MHz |
|---|---|
| 制御系統数 | 2 ch |
| 位相制御範囲 | 0〜359 ° |
| 位相測定精度 | ±5(全位相範囲) ° |
| 入力ダイナミックレンジ | 3〜23 dBm |
| 制御方式 | オープンループ(フィードフォワード)/クローズドループ(フィードバック)を系統ごとに選択 |
| 電源(カタログ) | AC85〜240V 50/60Hz 50VA |
※電源電圧はメーカー掲載のカタログ値(AC85〜240V)と現品銘板(〜100-200V 1Φ)で表記が異なる。使用前に現品の銘板・ヒューズ定格を確認のこと。
※現品は2台セットで販売する場合に NR1N-11 が付属する(登録情報による)。NR1N-11 の内容・仕様は未確認。
※寸法・質量・外部インターフェースの仕様は公開資料で確認できなかった。
出典: mono.ipros.com、現品の銘板
ノダRFテクノロジーズ NXE-03B-2P の装置概要 AIによる記述です
13.56MHzの高周波(RF)電源を複数台用いるプラズマ装置で、各電源(またはマッチングユニット)の出力の位相を1つの基準位相信号に対して一定に保つための位相制御器です。型式末尾の2Pが示すとおり2系統の位相を個別に制御する構成で、前面パネルにはPHASE1・PHASE2の各チャンネルに位相/レベル表示、位相調整つまみ、INT/EXT・OPEN/CLOSEの切替スイッチが並びます。
制御は系統ごとにオープンループ(フィードフォワード制御)とクローズドループ(フィードバック制御)を選べます。オープンループではRF電源側で位相を測定・制御し、クローズドループでは整合器出力側の位相を帰還させることで、負荷電圧の位相をより正確に制御します。位相制御範囲は0〜359°、位相測定精度は全位相範囲で±5°、入力レベルは3〜23dBmです。複数電極間の位相差を管理する平行平板型エッチング装置や成膜装置などで、RF電源と組み合わせて使われます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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