中古 OPTEG イオン電源 IBS700

本装置は、真空チャンバー内でのイオンビームエッチング、イオンビームミリング、またはイオンビームスパッタリングといった各種表面処理・薄膜形成プロセスにおいて、イオン源を安定して駆動・制御するために設計された専用の多系統電源ユニットです。イオン源のプラズマ生成からビーム引き出し、中和（ニュートラライズ）に至るまで、プロセスに必要な複数の独立した電力供給を一台で統合管理できる点が特徴です。

内部には、イオンを加速してビームを引き出すための主電源（ビーム電圧・電流制御）をはじめ、プラズマを維持するためのディスチャージ電源、熱電子を放出するカソード（フィラメント）用電源、さらにビームの広がりを抑えるための加速（アクセル）電源など、独立した制御回路が組み込まれています。これにより、プロセス条件に応じた緻密なエネルギー制御と電流密度の最適化が可能となります。

各種パラメーターはフロントパネルから個別に設定・監視できるほか、真空プロセス特有の異常放電（アーキング）を検知して瞬時に出力を遮断・自動復帰させるアークハンドリング保護機能も搭載されており、長時間の連続プロセスにおいても安定したイオンビームの照射を維持します。研究開発用途から各種デバイスの生産ラインまで、幅広い真空プロセス装置への組み込みやリプレイスメントに適した汎用性の高い設計となっています。