中古 ニデック 平坦度計（ﾌﾗｯﾄﾈｽﾃｽﾀｰ） FT-900

平坦度計は、対象物の表面がどれだけ平らであるか（歪みや反り、凹凸の度合い）を精密に測定するための計測機器です。製造業において製品の品質や性能を左右する重要な指標である「平坦度」を、数値や画像データとして可視化する役割を果たします。

主な特徴として、まず「高精度な非接触測定」が挙げられます。現在主流となっている光学式の平坦度計では、対象物に直接触れることなく、マイクロメートル（µm）やナノメートル（nm）単位の微細な凹凸を正確に捉えることができます。これにより、接触によって傷がつきやすいガラスや、変形しやすい薄膜材料、柔らかい樹脂なども損傷を与えることなく測定が可能です。

次に「面全体の高精度・高速測定」という特徴があります。従来のダイヤルゲージのような点での測定とは異なり、表面全体を一度に走査したりパターン光を照射したりすることで、わずか数秒で全体像を把握できます。測定結果は3Dグラフィックやヒートマップで直感的に表示され、どの部分が隆起し、どこが沈み込んでいるかをひと目で判別できます。

平坦度計の仕組みは、採用されている測定方式によって異なりますが、主に「レーザー変位計方式」「パターン投影方式」「干渉計方式」の3つが代表的です。

レーザー変位計方式は、対象物にレーザー光を照射し、その反射光の位置変化から高さを算出する「三角測距法」を利用しています。このセンサーをX-Y軸方向に走査させるか、複数のセンサーを並べることで表面全体の高さデータを取得し、高低差から平坦度を計算します。

パターン投影方式は、格子状の明暗パターン（ストライプ模様）を対象物に照射し、それを斜め方向からカメラで撮影する仕組みです。表面に凹凸があるとパターン模様が歪んで見えるため、その歪み具合を画像処理技術で解析することで、表面全体の3D形状と平坦度を一括で瞬時に測定します。

干渉計方式は、光の波長レベルの干渉現象を利用した測定法です。参照光と対象物からの反射光を重ね合わせることで生じる「干渉縞」を解析します。極めて高い分解能を持つため、鏡面仕上げされた金属や光学素子など、極小の歪みを測定する際に用いられます。

得られたデータは、ソフトウェア上で仮想の基準面を設定し、その基準面からの最大偏差（PV値：Peak to Valley）や平均偏差などとして定量的に算出されます。

用途としては、高度な品質管理が求められる多様な産業分野で活用されています。

半導体・電子部品分野では、シリコンウェハの製造プロセスやプリント基板の検査に不可欠です。ウェハに微細な反りや凹凸があると、回路を焼き付ける露光工程でピントが合わなくなり、不良品の原因となります。

ディスプレイ・ガラス分野では、液晶や有機ELに使用される大型ガラス基板、スマートフォンのカバーガラスの検査に用いられます。画面の表示ムラを防ぎ、製品強度を保つために面全体の厳密な平坦度が管理されています。

自動車・金属加工分野では、エンジンブロックの接合面、シリンダーヘッド、精密プレス部品などの歪みチェックに活用されています。平坦度が低いとオイル漏れや密閉性の低下につながるため、製造ラインでのインライン検査や出荷検査に幅広く導入されています。