中古 荏原製作所 Ebara メカニカルブースターポンプ 80*25UERR6M用

本装置は、多段ルーツ方式を採用した真空排気用のポンプです。ポンプ室内のガス接液部に潤滑油を一切使用しない完全ドライ仕様となっており、オイルの逆流（バックマイグレーション）による真空チャンバー内の汚染リスクがありません。そのため、高い清浄度が求められるクリーンな真空環境の構築に寄与します。

内部構造は、微小な隙間を保ちながら非接触で同期回転するロータを備えています。部品同士の機械的な摩擦が発生しない設計であるため、摩耗による金属粉の発生を抑えられます。これにより、長期間の連続運転においても排気性能の劣化が少なく、オーバーホールなどのメンテナンスサイクルを長く保つことが可能です。

主な用途として、半導体や電子部品の製造プロセス、真空蒸着・スパッタリングなどの成膜・コーティング装置、液晶ディスプレイの製造、さらには油分の混入を嫌う真空乾燥やガス置換プロセスなどに適しています。大気圧付近から高真空域まで安定した排気性能を発揮し、高い排気効率と優れた耐久性を両立した産業用モデルです。