中古 堀場エステック Stec デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-7340MOP
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- UR-7340MOP
- 機種
- 電空レギュレータ
- 仕様
- 5LM
- 管理番号
- Z21041914
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
UR-7340MOP の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 制御対象 | ガス |
|---|---|
| 圧力制御範囲(ゲージ圧タイプ・ノーマルオープン) | 20〜950 または 10〜500 kPa(G) |
| 圧力制御範囲(絶対圧タイプ) | 10〜300 kPa(A) |
| 圧力調整バルブ流量(N2換算F.S.) | 1 または 5 L/min(LM) |
| バルブ容量(5 LM品) | 0.016 Cv |
| 精度 | ±1 %F.S. |
| 応答速度 | 0.5 s 以内 |
| 最高一次側圧力(ゲージ圧タイプ・ノーマルオープン) | 1 MPa(G) |
| リーク量(メタルシール) | 5×10^-12 Pa·m3/s(He) 以下 |
| 使用温度範囲 | 5〜50(精度保証15〜35) ℃ |
| 接ガス部材質(M: メタルシール) | SUS316L |
| 標準継手 | 1/4 VCR |
| 圧力設定信号 | 0〜5(入力インピーダンス1 MΩ以上) VDC |
| 圧力出力信号 | 0〜5(最小負荷抵抗2 kΩ) VDC |
| 駆動電源 | +15 VDC±0.5% 50 mA / -15 VDC±0.5% 50 mA(最大瞬時120 mA) |
※出典のカタログの型式体系は「UR-7340 + シール材(M/R) + 無通電時状態(O/C) + (-B) + (UC) + 圧力仕様(3PA/5PG/9.5PG) + 流量(1LM/5LM)」。現品の型式末尾「P」が圧力仕様のどれに当たるかはカタログから特定できないため、圧力制御範囲・最高一次側圧力は現品の銘板で要確認。
※流量5 LMは現品の登録情報による。1 LM品ならCv値は0.0032。
※末尾に -B が付くと一次圧調整(背圧)タイプで制御範囲が異なるが、現品の型式には付いていない。
出典: メーカー資料
堀場エステック Stec UR-7340MOP の装置概要 AIによる記述です
半導体製造装置などのガス供給ラインで、ガスの圧力を電気信号に従って一定に保つ電子式の自動圧力調整器です。高精度の圧力センサーと、高分解能・高速応答のピエゾアクチュエータバルブを内蔵し、外部から与える0〜5 VDCの設定信号に応じて下流側の圧力を制御します。応答速度は0.5秒以内とされています。
UR-7300シリーズのうちUR-7340は圧力調整バルブ流量が1 LMまたは5 LM(N2換算フルスケール)のモデルで、上位のUR-7350は10 LMです。型式のMは接ガス部がすべて金属(SUS316L)のメタルシールで、超高純度ガスや反応性ガスのラインに向く構成です。Oは無通電時にバルブが開くノーマルオープンを表します。取付姿勢の制約が無く、継手は標準で1/4 VCRです。現品は登録情報上5 LM品です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
