中古 エドワーズ Edwards ドライポンプ IGX6/100L 200V

本装置は、半導体、FPD、太陽電池などの製造工程において、クリーンな真空環境を提供するためのインバータ駆動式ドライ真空ポンプです。主にロードロックチャンバー、搬送系、メトロロジー、アッシングなど、副生成物の発生が極めて少ない軽負荷（Light Duty）プロセスに最適化されており、ポンプ内部への生成物堆積リスクを低減し、長期にわたる安定稼働を実現しています。

筐体内部に制御用のオンボードコントローラを内蔵したコンパクトな一体型設計を採用しており、生産現場におけるフットプリント（設置面積）の削減に寄与します。ポンプ内部は非接触式のローター構造となっているため、摩耗による発塵がなく、定期的な潤滑油の交換も不要なクリーン仕様です。

また、本シリーズの特徴として独自のグリーンモード（省エネモード）を備えており、チャンバー待機時の消費電力を効果的に引き下げることで、ランニングコストおよび環境負荷の低減を両立しています。イーサネット通信を通じたリアルタイムな状態監視にも対応しており、工場内の制御ネットワークへの統合や、稼働データに基づいた予知保全を容易に行うことが可能です。