中古 エドワーズ Edwards ドライポンプ IGX/100L 200V

本装置は、半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、太陽電池などの製造工程において、ロードロック室やトランスファー室、スパッタリングといったクリーンおよび軽負荷（Light Duty）プロセス向けに設計された多段ルーツ型ドライ真空ポンプです。ガス接液部にオイルや封止液を使用しない完全ドライ構造を採用しており、真空チャンバー内への油分逆流を防止して極めて清浄な真空環境を維持します。

駆動部にはインバータ制御を採用しており、50Hzおよび60Hzの電源周波数に依存せず、最大105 m3/hの安定した排気性能を発揮します。到達圧力はパージなしの状態で1 Paを達成しています。また、アイドリング時（到達圧力時）の消費電力を約0.55 kWに抑えるなど優れた省エネルギー性能を備えており、工場におけるランニングコストの低減に寄与します。

水冷方式の採用により設置環境への熱放出を最小限に抑え、稼働時の騒音値も55 dB(A)以下と、静粛性および低振動性に優れています。重量は約133 kgに抑えられたコンパクトな筐体設計となっており、製造現場における省スペース化や既存システムへの組み込みが容易な仕様です。