中古 キーエンス Keyence 表面形状測定顕微鏡 VK-9500/9510

本装置は、バイオレットレーザーを利用した非接触式の超深度形状測定顕微鏡です。波長408nmの短波長半導体レーザーを光源に採用することで、従来の赤色レーザー搭載機と比較してXY方向の面内分解能が大幅に向上しています。測定原理としてピンホール共焦点光学系（コンフォーカル光学系）を採用しており、対象物の材質や反射率（金属、樹脂、セラミックスなど）を問わず、ナノメートルオーダーでの高精度な3D形状測定および表面粗さ測定が可能です。

Z軸方向の表示分解能は0.01µmとなっており、微細な凹凸、段差、摩耗量などを正確に数値化します。また、高解像度のカラーCCDカメラを内蔵しており、対象物のリアルな色情報を取得しながら、レーザーによって得られた3D形状データとカラー画像を重ね合わせた解析が可能です。これにより、非接触でありながら走査型電子顕微鏡（SEM）のような深い被写界深度と、触針式粗さ計の定量性を兼ね備えた詳細な表面解析を実現します。研究開発や品質保証における微細部品、半導体、新素材などの寸法・形状評価に広く活用される測定システムです。