中古 アネルバ ANELVA EB蒸着電源 EGP-230
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- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- EGP-230
- 機種
- EB蒸着電源
- 管理番号
- Z24080712
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
EGP-230 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 用途 | 3kW E型電子銃(EBガン)制御装置・電源 |
|---|---|
| 電源入力 | AC200V±10% 三相 50/60Hz 11A |
| 出力電圧 | 0〜-5 kV DC |
| エミッション電流 | 0〜600(FS600mA/FS60mA 二段切換) mA |
| フィラメント出力 | AC8V/6V×35A(内部コネクタで切替) |
| エミッション電流制御方式 | SCR(サイリスタ)位相制御 |
| 保護機能 | パネルリミットスイッチ、過電流(約780mA)、HVプロテクション、E-GUN冷却水・真空度 |
| 外部制御入力 | HV ON/OFF、エミッション制御電圧 0〜±10V、各種プロテクション |
| 寸法 | 467(W)×701(D)×691(H) mm |
| 質量 | 約150 kg |
※値は社内保管の取扱説明書(FT-922-003、1998年版)の仕様表から。
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA EGP-230 の装置概要 AIによる記述です
電子ビーム蒸着装置で、E型電子銃(EBガン)のフィラメント加熱、高電圧の印加、エミッション電流の制御を受け持つ電源・制御装置です。3kWクラスのE型電子銃に対応し、るつぼの中の蒸着材料に電子ビームを当てて加熱・蒸発させる用途に使われます。
出力電圧は0〜-5 kV DC、エミッション電流は0〜600 mAで、FS600mAとFS60mAの二段に切り換えられます。フィラメント出力はAC8V/6V×35A、エミッション電流の制御はSCR(サイリスタ)位相制御です。保護機能として、パネルリミットスイッチ、過電流、HVプロテクション、E-GUNの冷却水と真空度のインターロックを備え、外部からはHV ON/OFFと0〜±10Vの制御電圧で操作できます。
電源はAC200V±10% 三相 50/60Hz 11A、寸法は467(W)×701(D)×691(H) mm、質量は約150 kgです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。