中古 京三製作所 Kyosan HF電源 HFK15Z-SZ2
本体価格(税別、送料別)300,000円
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- メーカー
- 京三製作所 Kyosan
- 型式
- HFK15Z-SZ2
- 機種
- HF電源
- 年式
- 2008年
- 仕様
- 1.5KW 250kHz
- 管理番号
- Z25121605
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
HFK15Z-SZ2 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 出力 | 1.5 kW |
|---|---|
| 周波数 | 250 kHz |
| 入力電源 | 三相 AC200/220V 50/60Hz |
| 入力電流 | 7 A |
| 質量 | 24 kg |
※値は現品銘板から。出力インピーダンス・制御インターフェース・冷却方式は公式資料が無く未確認。
※京三製作所の現行ページには HFK15Z は無い(現行は HFK15TP 400kHz帯)。
出典: 現品の銘板
京三製作所 Kyosan HFK15Z-SZ2 の装置概要 AIによる記述です
高周波の電力を作り、整合器を通して真空容器の電極へ送ってプラズマを立てるHF電源。プラズマCVDやドライエッチング、表面処理など、プラズマを使う装置に組み込んで使われる。kHz帯の比較的低い周波数では、プラズマ中のイオンが電界の変化に追従しやすく、イオンの衝撃を利用する工程で使われることがある。
現品の銘板では、出力は1.5kW、周波数は250kHz。入力電源は三相AC200/220V 50/60Hzで、入力電流は7A、質量は24kg。設置には三相の電源設備が要る。
出力インピーダンス、制御のインターフェース、冷却方式は公式資料が無く、確かめられていない。メーカーの現行のラインナップにHFK15Zは無く、現行のHFK15TPは400kHz帯で周波数が異なるため、置き換えや組み合わせる整合器は現品の仕様で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
