中古 エドワーズ Edwards ターボ分子ポンプコントローラー SCU-301H

本装置は、半導体製造プロセスや各種高真空排気システムで用いられる磁気軸受式ターボ分子ポンプを駆動・制御するための専用コントロールユニットです。主にSTP-301、STP-451、STP-H301、STP-H451シリーズなどのポンプユニットに適合し、最適な回転制御と姿勢制御を提供します。

内部には、ポンプ内のローターを非接触で磁気浮上させるための5軸（径方向4軸、軸方向1軸）磁気軸受制御回路と、ローターを定格回転数まで高速回転させるための3相モーター駆動用インバータ回路を搭載しています。非接触でのローター支持により潤滑油が不要となるため、完全なオイルフリーによるクリーンな真空環境の構築を実現します。また、機械的な摩耗が発生しないため、長期にわたる安定稼働とポンプ本体のメンテナンスフリー化に大きく貢献します。

フロントパネルにはステータスインジケーターが配置されており、ポンプの起動、加速、定常回転、減速（ブレーキ）、および各種エラー状態などの運転状況を直感的に確認することが可能です。背面にはリモートインターフェースポートを備えており、上位システムや真空装置本体からの外部制御、ステータス信号の入出力に幅広く対応しているため、自動化された生産設備への組み込みに適した設計となっています。