中古 KarlSuss リフトオフ装置 M6000L
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- メーカー
- KarlSuss
- 型式
- M6000L
- 機種
- リフトオフ装置
- 管理番号
- Z26011106
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 銘板の型式表記 | M6000 LIFT OFF / E-RACK |
|---|
M6000L の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 単一ウエハ処理式のメタルリフトオフ装置 |
|---|---|
| メーカー表記 | Karl Süss Vaihingen GmbH(現SUSS MicroTec) |
| 電源 | 三相208V 50/60Hz 7kVA |
| 対応ウエハサイズ | 4〜6インチ |
| 設置面積(目安) | 約1,200×1,200 mm |
| 対応金属 | 金、タンタル、チタンなど |
| 主な用途 | GaAs・InP・ニオブ酸リチウムの高周波デバイス、光通信デバイスの配線形成、エアブリッジ形成 |
| 周辺構成 | 薬液供給キャビネット、チラー、電源ラック(E-RACK) |
※メーカー(SUSS MicroTec)の現行サイトに本型式の仕様は残っておらず、対応ウエハサイズ・設置面積・用途は業界紙と中古流通の記載による二次情報
※電源と型式表記は現品(管理番号Z26011106)の銘板による。銘板の窒素・加圧エア・真空・純水の欄は記入なし
※薬液供給キャビネットやチラーなどの周辺ユニットが付属するかは個体による
出典: semiconductoronline.com、現品の銘板、compoundsemiconductor.net
KarlSuss M6000L の装置概要 AIによる記述です
フォトレジストのパターンの上に金属膜を付けたウエハを薬液で処理し、レジストごと不要な金属を剥がし取って配線や電極のパターンを残すメタルリフトオフ装置。ウエハを1枚ずつ処理する単一ウエハ処理式で、エッチングしにくい金属のパターン形成に使われる。
メーカーはKarl Süss Vaihingen GmbH(現SUSS MicroTec)で、銘板の型式表記はM6000 LIFT OFF / E-RACK。対応ウエハは4〜6インチ、設置面積の目安は約1,200×1,200mm、扱う金属は金・タンタル・チタンなど。GaAs・InP・ニオブ酸リチウムの高周波デバイスや光通信デバイスの配線形成、エアブリッジの形成に使われてきた。周辺は薬液供給キャビネット、チラー、電源ラック(E-RACK)の構成で、電源は三相208V 50/60Hz 7kVA(現品の銘板)。
メーカーの現行サイトに仕様が残っておらず、対応ウエハサイズ・設置面積・用途は業界紙と中古流通の記載による二次情報。周辺ユニットが付属するかは個体による。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。