中古 アルバック Ulvac Qマス CGM-052
本体価格(税別、送料別)800,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CGM-052
- 機種
- 質量ガス分析装置
- 仕様
- フィラメント新品に交換して提供
- 管理番号
- Z26021502
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CGM-052 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 質量数範囲 | 1〜50 amu |
|---|---|
| 分解能 | M/ΔM=1M(10% P.H.) |
| 分析管 | 四重極型 |
| 検出器 | 二次電子増倍管(SEM)(CGM-051はファラデーカップ) |
| 感度 | 1×10^-4(エミッション0.4mA時) A/Pa |
| 最小検出分圧 | 1×10^-11 台 Pa |
| 最高使用圧力 | 2(直線性は1Paまで、SEM使用時は1×10^-2Pa以下) Pa |
| イオン源 | B-A型(全圧測定機能付き) |
| フィラメント | Ir/Y2O3 1本 |
| イオン化電圧 | 40 eV |
| エミッション電流 | 0.1 / 0.4 mA |
| SEM印加電圧 | -0.5〜-1.5 kV |
| 電源 | DC24V ±10%、消費電力50W |
| 質量(センサユニット) | 2.2(SEM付き) kg |
| 使用温度範囲 | 10〜40 ℃ |
※差動排気系付きの構成やピラニ真空計付きの構成(CGM-052-QIP-PG)があり、付属の有無は個体で異なる
※掲載品はフィラメントを新品に交換して提供とあるが、これは個体の状態で型式一般の仕様ではない
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac CGM-052 の装置概要 AIによる記述です
真空容器の中に残っている気体をイオン化し、四重極の電場で質量ごとにふるい分けて、どの成分がどれだけあるかを分圧として測る四重極形の残留ガス分析計(Qマス)。真空装置のリーク探し、排気中の水分や炭化水素の確認、成膜やエッチングの工程でのガス成分の監視などに使われる。
測れる質量数は1〜50amuで、水素やヘリウムから水、窒素、酸素、アルゴンまでの主な残留ガスを見られる。分解能はM/ΔM=1M(10%P.H.)。イオン源は全圧の測定機能を持つB-A型で、フィラメントはIr/Y2O3を1本使い、イオン化電圧は40eV、エミッション電流は0.1/0.4mAを切り替える。検出器は二次電子増倍管(SEM)で、感度は1×10^-4A/Pa(エミッション0.4mA時)、最小検出分圧は1×10^-11Pa台。最高使用圧力は2Paで、直線性が保たれるのは1Paまで、SEMを使うときは1×10^-2Pa以下で動かす。
電源はDC24V±10%・消費電力50W、センサユニットの質量は2.2kg(SEM付き)、使用温度範囲は10〜40℃。差動排気系やピラニ真空計を付けた構成もあり、付属の有無は個体で異なる。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。